В процессе парофазной эпитаксии (VPE) роль подставки заключается в поддержке подложки и обеспечении равномерного нагрева в процессе роста. Различные типы пьедесталов подходят для разных условий выращивания и материальных систем. Ниже приведены некоторые из наиболее часто используемых типов опор в паровой фазе.эпитаксия:
Пьедестал для бочки
Стойки-цилиндры обычно используются в горизонтальных или наклонных системах газофазной эпитаксии. Они могут удерживать подложку и позволять газу течь по подложке, что помогает добиться равномерного эпитаксиального роста.
Дискообразный постамент (вертикальный постамент)
Дискообразные пьедесталы подходят для вертикальных систем парофазной эпитаксии, в которых подложка размещается вертикально. Такая конструкция помогает уменьшить площадь контакта между подложкой и токоприемником, тем самым уменьшая потери тепла и потенциальное загрязнение.
Горизонтальный токоприемник
Горизонтальные суцепторы менее распространены при парофазной эпитаксии, но могут использоваться в некоторых конкретных системах выращивания, чтобы обеспечить эпитаксиальный рост в горизонтальном направлении.
Монолитный эпитаксиальный реакционный токоприемник
Монолитный эпитаксиальный реакционный токоприемник предназначен для одной подложки, которая может обеспечить более точный контроль температуры и лучшую термическую изоляцию, подходящую для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев.
Добро пожаловать на наш сайт для получения информации о продукции и консультаций.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Время публикации: 30 июля 2024 г.