Tavă din folie epitaxială din carbură de siliciu pentru cuptor epitaxial cu semiconductor

Scurtă descriere:

Tava pentru folii epitaxiale din carbură de siliciu VET Energy este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp. Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Tava din carbură de siliciu este o componentă cheie utilizată în diferite procese de fabricare a semiconductorilor. Folosim tehnologia noastră patentată pentru a face tava din carbură de siliciu cu puritate extrem de ridicată, uniformitate bună a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și rezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.

VET Energy este adevăratul producător de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri precum SiC, Tac, carbon pirolitic, carbon sticlos etc., poate furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare naționale de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

Caracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate de până la 1700℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura de cristal	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1