Acoperire cu SiC grafit MOCVD Wafer purtători, Susceptori de grafit pentru SiC Epitaxie,
-SiCGraphite Wafer, Carbonul furnizează susceptori, susceptori de epitaxie, Grafitul furnizează susceptori, Susceptori de napolitană de grafit, https://www.vet-china.com/sic-coating-graphite-mocvd-wafer-carriers-2.html#:~:text=SicGraphiteSusceptors-, SicGraphiteTrays,

Acoperirea CVD-SiC are caracteristicile unei structuri uniforme, material compact, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la oxidare, puritate ridicată, rezistență la acizi și alcali și reactiv organic, cu proprietăți fizice și chimice stabile.

În comparație cu materialele de grafit de înaltă puritate, grafitul începe să se oxideze la 400C, ceea ce va provoca o pierdere de pulbere din cauza oxidării, ducând la poluarea mediului pentru dispozitivele periferice și camerele de vid și creșterea impurităților mediului de înaltă puritate.

Cu toate acestea, acoperirea SiC poate menține stabilitatea fizică și chimică la 1600 de grade, este utilizat pe scară largă în industria modernă, în special în industria semiconductoarelor.

Compania noastra ofera servicii de proces de acoperire cu SiC prin metoda CVD pe suprafata grafitului, ceramicii si a altor materiale, astfel incat gazele speciale care contin carbon si siliciu sa reactioneze la temperatura ridicata pentru a obtine molecule de SiC de inalta puritate, molecule depuse pe suprafata materialelor acoperite, formând stratul protector SIC. SIC format este ferm lipit de baza de grafit, oferind proprietăți speciale bazei de grafit, făcând astfel suprafața grafitului compactă, fără porozitate, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune și rezistență la oxidare.

Caracteristici principale:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate:

rezistența la oxidare este încă foarte bună atunci când temperatura este de până la 1700 C.

2. Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori în condiții de clorinare la temperatură ridicată.

3. Rezistență la eroziune: duritate mare, suprafață compactă, particule fine.

4. Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

Specificații principale ale acoperirilor CVD-SIC:

Capacitate de aprovizionare:

10000 bucăți/bucăți pe lună
Ambalare și livrare:
Ambalare: Ambalare standard și puternică
Poli sac + cutie + cutie + palet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Perioada de graţie: