Carbură de siliciueste un compus dur care conține siliciu și carbon și se găsește în natură ca un mineral extrem de rar moissanit. Particulele de carbură de siliciu pot fi legate între ele prin sinterizare pentru a forma ceramică foarte dure, care sunt utilizate pe scară largă în aplicații care necesită durabilitate ridicată, în special în procesele semiconductoare.
Structura fizică a SiC
Ce este acoperirea SiC?
Acoperirea SiC este o acoperire densă, rezistentă la uzură, cu carbură de siliciu, cu rezistență ridicată la coroziune și căldură și o conductivitate termică excelentă. Această acoperire SiC de înaltă puritate este utilizată în principal în industria semiconductoarelor și a electronicii pentru a proteja suporturile, bazele și elementele de încălzire pentru plachete de mediile corozive și reactive. Acoperirea SiC este, de asemenea, potrivită pentru cuptoarele cu vid și încălzirea probelor în medii cu vid înalt, reactive și cu oxigen.
Suprafață de acoperire cu SiC de înaltă puritate
Ce este procesul de acoperire cu SiC?
Un strat subțire de carbură de siliciu este depus pe suprafața substratului folosindCVD (depunere chimică în vapori). Depunerea este de obicei efectuată la temperaturi de 1200-1300°C, iar comportamentul de dilatare termică a materialului substratului trebuie să fie compatibil cu acoperirea SiC pentru a minimiza stresul termic.
Acoperire CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE
Proprietățile fizice ale acoperirii SiC se reflectă în principal în rezistența la temperatură ridicată, duritate, rezistență la coroziune și conductivitate termică.
Parametrii fizici tipici sunt de obicei după cum urmează:
Duritate: Acoperirea SiC are în mod obișnuit o duritate Vickers în intervalul 2000-2500 HV, ceea ce le conferă rezistență extrem de ridicată la uzură și impact în aplicații industriale.
Densitate: Acoperirile SiC au de obicei o densitate de 3,1-3,2 g/cm³. Densitatea mare contribuie la rezistența mecanică și durabilitatea stratului de acoperire.
Conductivitate termică: Acoperirile SiC au o conductivitate termică ridicată, de obicei în intervalul 120-200 W/mK (la 20°C). Acest lucru îi conferă o bună conductivitate termică în medii cu temperaturi ridicate și îl face deosebit de potrivit pentru echipamentele de tratament termic din industria semiconductoarelor.
Punct de topire: carbura de siliciu are un punct de topire de aproximativ 2730°C si are stabilitate termica excelenta la temperaturi extreme.
Coeficientul de dilatare termică: Acoperirile SiC au un coeficient liniar scăzut de dilatare termică (CTE), de obicei în intervalul 4,0-4,5 µm/mK (în intervalul 25-1000℃). Aceasta înseamnă că stabilitatea sa dimensională este excelentă la diferențe mari de temperatură.
Rezistenta la coroziune: Acoperirile din SiC sunt extrem de rezistente la coroziune în medii cu acizi puternici, alcaline și oxidante, în special atunci când se folosesc acizi puternici (cum ar fi HF sau HCl), rezistența la coroziune a acestora o depășește cu mult pe cea a materialelor metalice convenționale.
Acoperirile SiC pot fi aplicate pe următoarele materiale:
Grafit izostatic de înaltă puritate (CTE scăzut)
Tungsten
Molibden
Carbură de siliciu
Nitrură de siliciu
Compozite carbon-carbon (CFC)
Produsele acoperite cu SiC sunt utilizate în mod obișnuit în următoarele domenii:
Productie cip LED
Producția de polisiliciu
Semiconductorcreșterea cristalelor
Siliciu șiepitaxie SiC
Tratament termic și gravare a napolitanelor
De ce să alegeți VET Energy?
VET Energy este un producător de frunte, inovator și lider de produse de acoperire SiC în China, principalele produse de acoperire SiC includsuport de napolitană cu acoperire SiC, acoperit cu SiCsusceptor epitaxial, Inel de grafit acoperit cu SiC, Piese semi-lună cu acoperire SiC, Compozit carbon-carbon acoperit cu SiC, Barcă de napolitană acoperită cu SiC, Încălzitor acoperit cu SiC, etc. VET Energy se angajează să ofere industriei semiconductoarelor soluții de ultimă oră tehnologie și produse și sprijină servicii de personalizare. Așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Ora postării: 18-oct-2024