Acoperirea cu SiC poate fi preparată prin depunere chimică de vapori (CVD), transformare a precursorului, pulverizare cu plasmă, etc. Acoperirea preparată prin depunere de vapori CHEMICAL este uniformă și compactă și are o bună capacitate de proiectare. Folosind metil triclosilan. (CHzSiCl3, MTS) ca sursă de siliciu, acoperirea SiC preparată prin metoda CVD este o metodă relativ matură pentru aplicarea acestei acoperiri.
Acoperirea SiC și grafitul au o compatibilitate chimică bună, diferența de coeficient de dilatare termică dintre ele este mică, utilizarea acoperirii SiC poate îmbunătăți în mod eficient rezistența la uzură și rezistența la oxidare a materialului de grafit. Printre acestea, raportul stoichiometric, temperatura de reacție, gazul de diluție, gazul impur și alte condiții au o mare influență asupra reacției.
Ora postării: 14-sept-2022