În timpul procesului de epitaxie în fază de vapori (VPE), rolul piedestalului este de a susține substratul și de a asigura o încălzire uniformă în timpul procesului de creștere. Diferite tipuri de piedestale sunt potrivite pentru diferite condiții de creștere și sisteme de materiale. Următoarele sunt câteva dintre tipurile de piedestale utilizate în mod obișnuit în faza de vaporiepitaxie:
Piedestal de butoi
Piedestalele de butoi sunt utilizate în mod obișnuit în sistemele de epitaxie în fază de vapori orizontale sau înclinate. Ele pot ține substratul și permit gazului să curgă peste substrat, ceea ce ajută la obținerea unei creșteri epitaxiale uniforme.
Soclu în formă de disc (piedestal vertical)
Piedestalele în formă de disc sunt potrivite pentru sistemele verticale de epitaxie în fază de vapori, în care substratul este plasat vertical. Acest design ajută la reducerea zonei de contact dintre substrat și susceptor, reducând astfel pierderile de căldură și potențiala contaminare.
Susceptor orizontal
Susceptorii orizontali sunt mai puțin obișnuiți în epitaxia în fază de vapori, dar pot fi utilizați în unele sisteme de creștere specifice pentru a permite creșterea epitaxială într-o direcție orizontală.
Susceptor monolitic al reacției epitaxiale
Susceptorul de reacție epitaxială monolitică este proiectat pentru un singur substrat, care poate oferi un control mai precis al temperaturii și o mai bună izolare termică, potrivită pentru creșterea straturilor epitaxiale de înaltă calitate.
Bine ați venit pe site-ul nostru pentru informații despre produse și consultanță.
Site-ul nostru: https://www.vet-china.com/
Ora postării: 30-iul-2024