Energie VETPurtătorul de grafit pentru proces PECVD este un consumabil de înaltă calitate, adaptat pentru procesul PECVD (depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă). Acest suport de grafit este fabricat din material de grafit de înaltă puritate, de înaltă densitate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici, poate oferi o platformă de transport stabilă pentru procesul PECVD, pentru a asigura uniformitatea și planeitatea peliculei subțiri. depunere.
Purtătorii de grafit pentru procesul PECVD au următoarele caracteristici:
▪ Puritate ridicată: conținut extrem de scăzut de impurități, evitând contaminarea filmului și asigurând calitatea filmului.
▪ Densitate mare: densitate mare, rezistență mecanică ridicată, capabil să reziste la temperaturi ridicate și la presiune înaltă mediului PECVD.
▪ Stabilitate dimensională bună: modificare dimensională mică la temperatură ridicată, asigurând stabilitatea procesului.
▪ Conductivitate termică excelentă: transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetelor.
▪ Rezistență puternică la coroziune: capabil să reziste la eroziunea diferitelor gaze corozive și plasmă.
▪ Serviciu personalizat: suporturile din grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clienților.
Material grafit de la SGL:
Parametru tipic: R6510 | |||
Index | Standard de testare | Valoare | Unitate |
Dimensiunea medie a boabelor | ISO 13320 | 10 | μm |
Densitate în vrac | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Porozitate deschisă | DIN66133 | 10 | % |
Dimensiunea medie a porilor | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitate | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Duritate Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Rezistivitate electrică specifică | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Rezistența la încovoiere | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Rezistența la compresiune | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulul Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Expansiune termică (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Conductivitate termică (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Este proiectat special pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, susținând procesarea plachetelor de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al transportorului crește semnificativ debitul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.
Articol | Tip | Număr suport de napolitană |
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156 | 156-13 barcă din grefit | 144 |
156-19 barcă din grefit | 216 | |
156-21 barcă din grefit | 240 | |
156-23 barcă de grafit | 308 | |
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125 | 125-15 barcă din grefit | 196 |
125-19 barcă din grefit | 252 | |
125-21 barcă de grphite | 280 |