Inel de grafit acoperit cu carbură de siliciu CVD

Scurta descriere:

Inelul de grafit acoperit cu carbură de siliciu VET Energy este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp.Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliile produsului

Etichete de produs

Proprietăți tipice ale materialului grafit de bază:

Densitate aparentă:	1,85 g/cm3
Rezistență electrică:	11 μΩm
Rezistența la încovoiere:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Duritatea țărmului:	58
Frasin:	<5 ppm
Conductivitate termică:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Furnizăm diverși susceptori și componente de grafit pentru toate reactoarele de epitaxie actuale.Produsele noastre includ susceptori de butoi pentru unitățile LPE, susceptori de clătite pentru unitățile LPE, CSD și Gemini și susceptori cu un singur wafer pentru unitățile aplicate și ASM.

Combinând parteneriate puternice cu producători OEM de top, expertiză în materiale și know-how în producție, vet oferă designul optim pentru aplicația dvs.

VET Energia este celproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizavariatpiese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. OEchipa tehnică provine de la instituții de cercetare naționale de top, poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.

FCaracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCstrat
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipica
晶体结构 / Structură cristalină	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Marimea unui bob	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistență la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1