Susceptor revestido de TaC para equipamento epitaxia

Breve descrição:

A VET fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da VET permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e o VET resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

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Detalhes do produto

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Revestido com TaCsubstrato é uma película fina feita decarboneto de tântalomaterial, que é aplicado na superfície do substrato do equipamento epitaxial.Revestimento TaCtem muitas propriedades excelentes, tornando-o uma escolha ideal.

O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
电阻 / Resistência	1x10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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