Alvos de pulverização catódicasão usados principalmente nas indústrias eletrônica e de informação, como circuitos integrados, armazenamento de informações, displays de cristal líquido, memórias laser, dispositivos de controle eletrônico, etc. materiais, resistência à corrosão em alta temperatura, produtos decorativos de alta qualidade e outras indústrias.
A pulverização catódica é uma das principais técnicas de preparação de materiais de filmes finos.Ele usa íons gerados por fontes de íons para acelerar e agregar no vácuo para formar feixes de íons de energia de alta velocidade, bombardear a superfície sólida e trocar energia cinética entre íons e átomos da superfície sólida. Os átomos na superfície sólida deixam o sólido e são depositados na superfície do substrato. O sólido bombardeado é a matéria-prima para a deposição de filmes finos por pulverização catódica, que é chamada de alvo de pulverização catódica. Vários tipos de materiais de película fina pulverizados têm sido amplamente utilizados em circuitos integrados de semicondutores, mídia de gravação, monitores de tela plana e revestimentos de superfícies de peças de trabalho.
Entre todas as indústrias de aplicação, a indústria de semicondutores tem os requisitos de qualidade mais rigorosos para filmes de pulverização catódica. Os alvos de pulverização catódica de metais de alta pureza são usados principalmente na fabricação de wafers e processos avançados de embalagem. Tomando a fabricação de chips como exemplo, podemos ver que de um wafer de silício a um chip, ele precisa passar por 7 processos de produção principais, a saber: difusão (processo térmico), fotolitografia (fotolitografia), gravação (gravação), Implantação Iônica (IonImplant), Crescimento de Filme Fino (Deposição Dielétrica), Polimento Químico Mecânico (CMP), Metalização (Metalização) Os processos correspondem um por um. O alvo de pulverização catódica é utilizado no processo de “metalização”. O alvo é bombardeado com partículas de alta energia por equipamento de deposição de filme fino e, em seguida, uma camada metálica com funções específicas é formada na pastilha de silício, como camada condutora, camada de barreira. Espere. Como os processos de todos os semicondutores são variados, algumas situações ocasionais são necessárias para verificar se o sistema existe corretamente, por isso exigimos alguns tipos de materiais fictícios em determinados estágios de produção para confirmar os efeitos.
Horário da postagem: 17 de janeiro de 2022