Aquecedor de substrato MOCVD, Elementos de aquecimento para MOCVD,
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Grafiteaquecedor:
Oaquecedor de grafiteos componentes são usados no forno de alta temperatura com temperatura atingida 2.200 graus em ambiente de vácuo e 3.000 graus no ambiente de gás desoxidado e inserido.
Principais características deaquecedor de grafite:
1. uniformidade da estrutura de aquecimento.
2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.
3. resistência à corrosão.
4. inoxidabilidade.
5. alta pureza química.
6. alta resistência mecânica.
A vantagem é eficiência energética, alto valor e baixa manutenção.
Podemos produzir cadinho de grafite antioxidação e longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.
Parâmetros principais do aquecedor de grafite:
Especificação Técnica | VET-M3 |
Densidade aparente (g/cm3) | ≥1,85 |
Conteúdo de cinzas (PPM) | ≤500 |
Dureza Shore | ≥45 |
Resistência Específica (μ.Ω.m) | ≤12 |
Resistência à Flexão (Mpa) | ≥40 |
Resistência à Compressão (Mpa) | ≥70 |
Máx. Tamanho do grão (μm) | ≤43 |
Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Aquecedor de grafite para forno elétrico possui propriedades de resistência ao calor, resistência à oxidação, boa condutividade elétrica e melhor intensidade mecânica. Podemos usinar vários tipos de aquecedores de grafite de acordo com os projetos dos clientes.
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