Remo Cantilever SiC avançado para processamento de wafer

Breve descrição:

O remo cantilever avançado de SiC para processamento de wafer lançado pela vet-china usa materiais SiC de alta tecnologia para melhorar a eficiência e a precisão do processamento de wafer. A pá cantilever da Vet-china apresenta excelente resistência ao calor e à corrosão, garantindo desempenho estável no manuseio de wafers em ambientes de fabricação adversos, tornando-a a escolha ideal para melhorar o rendimento da produção.


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O AvançadoRemo Cantilever SiCpara processamento de wafer criado pela vet-china oferece uma excelente solução para fabricação de semicondutores. Esta pá cantilever é feita de material SiC (carboneto de silício) e sua alta dureza e resistência ao calor permitem manter excelente desempenho em ambientes corrosivos e de alta temperatura. O design do Cantilever Paddle permite que o wafer seja apoiado de forma confiável durante o processamento, reduzindo o risco de fragmentação e danos.

Remo Cantilever SiCé um componente especializado usado em equipamentos de fabricação de semicondutores, como forno de oxidação, forno de difusão e forno de recozimento, o principal uso é para carga e descarga de wafers, suporte e transporte de wafers durante processos de alta temperatura.

Estruturas comunsdeSiCcanti-alavancapenigma: uma estrutura cantilever, fixada em uma extremidade e livre na outra, normalmente tem um design plano e semelhante a uma pá.

A VET Energy usa materiais de carboneto de silício recristalizado de alta pureza para garantir a qualidade.

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado

Propriedade

Valor típico

Temperatura de trabalho (°C)

1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)

Conteúdo SiC

> 99,96%

Conteúdo Si grátis

<0,1%

Densidade aparente

2,60-2,70g/cm3

Porosidade aparente

<16%

Força de compressão

> 600MPa

Resistência à flexão a frio

80-90MPa (20°C)

Resistência à flexão a quente

90-100MPa (1400°C)

Expansão térmica @1500°C

4,70 10-6/°C

Condutividade térmica @1200°C

23W/m•K

Módulo elástico

240 GPa

Resistência ao choque térmico

Extremamente bom

As vantagens do Advanced SiC Cantilever Paddle da VET Energy para processamento de wafer são:

-Estabilidade em altas temperaturas: utilizável em ambientes acima de 1600°C;

-Baixo coeficiente de expansão térmica: mantém a estabilidade dimensional, reduzindo o risco de empenamento do wafer;

-Alta pureza: menor risco de contaminação por metais;

-Inércia química: resistente à corrosão, adequada para diversos ambientes gasosos;

-Alta resistência e dureza: Resistente ao desgaste, longa vida útil;

-Boa condutividade térmica: auxilia no aquecimento uniforme do wafer.

Remo Cantilever 10
Remo Cantilever 16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

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