د VET انرژی سیلیکون کاربایډ (SiC) epitaxial wafer د لوړ فعالیت پراخه بینډګاپ سیمی کنډکټر مواد دی چې د لوړې تودوخې مقاومت ، لوړې فریکونسۍ او لوړ بریښنا ځانګړتیاو سره. دا د بریښنا بریښنایی وسیلو نوي نسل لپاره یو مثالی سبسټریټ دی. د VET انرژي پرمختللي MOCVD epitaxial ټیکنالوژي کاروي ترڅو په SiC سبسټریټونو کې د لوړ کیفیت SiC epitaxial پرتونو وده وکړي ، د ویفر غوره فعالیت او دوام تضمینوي.
زموږ سیلیکون کاربایډ (SiC) Epitaxial Wafer د مختلف سیمیکمډکټر موادو سره عالي مطابقت وړاندې کوي پشمول د Si Wafer ، SiC سبسټریټ ، SOI Wafer ، او SiN سبسټریټ. د دې قوي اپیټیکسیل پرت سره ، دا د پرمختللو پروسو ملاتړ کوي لکه د Epi Wafer وده او د ګیلیم آکسایډ Ga2O3 او AlN Wafer په څیر موادو سره ادغام ، په مختلف ټیکنالوژیو کې د هر اړخیز کارونې ډاډ ورکوي. د صنعت معیاري کیسټ اداره کولو سیسټمونو سره مطابقت کولو لپاره ډیزاین شوی ، دا د سیمیکمډکټر جوړونې چاپیریال کې موثر او منظم عملیات تضمینوي.
د VET انرژي محصول لاین د SiC epitaxial wafers پورې محدود ندی. موږ د سیمی کنډکټر سبسټریټ موادو پراخه لړۍ هم چمتو کوو ، پشمول د Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. سربیره پردې، موږ په فعاله توګه د نوي پراخه بانډګاپ سیمیکمډکټر موادو لکه ګیلیم آکسایډ Ga2O3 او AlN په فعاله توګه وده کوو. Wafer، د لوړ فعالیت وسیلو لپاره د راتلونکي بریښنا بریښنایی صنعت غوښتنې پوره کولو لپاره.
د ویفرینګ مشخصات
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=نیم درجې
توکي | ۸-انچه | 6-انچ | 4-انچ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
رکوع (GF3YFCD) - مطلق ارزښت | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
وارپ (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
د ویفر څنډه | Beveling |
سطحي پای
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=نیم درجې
توکي | ۸-انچه | 6-انچ | 4-انچ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
د سطحې پای | دوه اړخیز نظری پولش، سی-مخ CMP | ||||
د سطحې خرابوالی | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
څنډه چپس | هیڅ اجازه نشته (اوږدوالی او عرض 0.5mm) | ||||
Indents | هیڅ اجازه نشته | ||||
سکریچونه (سی-مخ) | مقدار ≤5، مجموعي | مقدار ≤5، مجموعي | مقدار ≤5، مجموعي | ||
درزونه | هیڅ اجازه نشته | ||||
د څنډې جلا کول | 3mm |