د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ هیټر

لنډ تفصیل:

په چین کې د مسلکي سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ جوړونکي او عرضه کونکي په توګه ، د ویټ - چین سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ په پراخه کچه د سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کلیدي برخو کې کارول کیږي ، په ځانګړي توګه کله چې د CVD او PECVD پروسې دخیل وي. Vet-China د لوړ فعالیت سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ تولید او عرضه کولو کې تخصص لري ، او د سیمی کنډکټر صنعت لپاره پرمختللي ټیکنالوژۍ او محصول حلونو چمتو کولو ته ژمن دی. ستاسو پوښتنو ته ښه راغلاست.


د محصول تفصیل

د محصول ټګ

Vet-Chinaسیلیکون کاربایډ سیرامیککوټینګ د لوړ فعالیت محافظت کوټینګ دی چې د خورا سخت او اغوستلو مقاومت څخه جوړ شویسیلیکون کاربایډ (SiC)مواد، کوم چې د کیمیاوي سنکنرن مقاومت او د لوړې تودوخې ثبات چمتو کوي. دا ځانګړتیاوې د سیمیکمډکټر تولید کې خورا مهم دي، نود سیلیکون کاربایډ سیرامیک پوښپه پراخه کچه د سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو کلیدي برخو کې کارول کیږي.

د ویټ چین ځانګړی رولسیلیکون کاربایډ سیرامیکد سیمیکمډکټر تولید کې پوښ په لاندې ډول دی:

د تجهیزاتو پایښت لوړول:د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ د دې خورا لوړ سختۍ او پوښاک مقاومت سره د سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو لپاره عالي سطحي محافظت چمتو کوي. په ځانګړي توګه د لوړې تودوخې او خورا ککړونکي پروسې چاپیریال کې ، لکه د کیمیاوي بخاراتو زیرمه (CVD) او د پلازما نقاشي ، کوټ کولی شي په مؤثره توګه د تجهیزاتو سطح د کیمیاوي تخریب یا فزیکي پوښاک له امله زیانمن کیدو مخه ونیسي ، پدې توګه د پام وړ د خدمت ژوند اوږدوي. تجهیزات او د وخت کمول د مکرر ځای په ځای کولو او ترمیم له امله رامینځته کیږي.

د پروسې پاکوالي ته وده ورکول:د سیمی کنډکټر تولید پروسې کې، کوچني ککړتیا ممکن د محصول نیمګړتیاو لامل شي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ کیمیاوي جریان دې ته اجازه ورکوي چې په خورا سختو شرایطو کې باثباته پاتې شي ، د موادو د ذرات یا ناپاکۍ خوشې کولو مخه نیسي ، پدې توګه د پروسې چاپیریال پاکوالي تضمینوي. دا په ځانګړې توګه د تولید ګامونو لپاره مهم دی چې لوړ دقت او لوړ پاکوالي ته اړتیا لري، لکه PECVD او د آیون امپلانټیشن.

د حرارتي مدیریت اصلاح کول:د لوړې تودوخې سیمیک کنډکټر پروسس کولو کې ، لکه د ګړندي تودوخې پروسس (RTP) او اکسیډریشن پروسې ، د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ لوړ حرارتي چالکتیا د تجهیزاتو دننه د تودوخې یوشان توزیع وړوي. دا د تودوخې فشار او د تودوخې د بدلونونو له امله رامینځته شوي د موادو خرابوالی کمولو کې مرسته کوي ، په دې توګه د محصول تولید دقیقیت او ثبات ته وده ورکوي.

د پیچلي پروسې چاپیریال ملاتړ کوي:په هغه پروسو کې چې پیچلي فضا کنټرول ته اړتیا لري ، لکه د ICP ایچنګ او PSS ایچنګ پروسې ، د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ ثبات او اکسیډریشن مقاومت ډاډ ورکوي چې تجهیزات په اوږدمهاله عملیاتو کې مستحکم فعالیت ساتي ، د موادو تخریب یا د تجهیزاتو زیان خطر کموي. د چاپیریال بدلونونو ته.

سیلیکون کاربایډ سیرامیک پوښ
ګرافیت هیټر (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能

د CVD SiC بنسټیز فزیکي ځانګړتیاوېپوښ

性质 / ملکیت

典型数值 / عادي ارزښت

晶体结构 / کرسټال جوړښت

د FCC β مرحله多晶، 主要为 (111) 取向

密度 / کثافت

3.21 g/cm³

硬度 / سختۍ

2500 维氏硬度 (500g بار)

晶粒大小 / د غلو اندازه

2~10μm

纯度 / کیمیاوي پاکوالی

99.99995%

热容 / د تودوخې ظرفیت

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Sublimation د حرارت درجه

2700℃

抗弯强度 / انعطاف منونکی ځواک

415 MPa RT 4 ټکي

杨氏模量 / د ځوان ماډل

430 Gpa 4pt کنډک، 1300℃

导热系数 / ترماlچال چلن

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 د تودوخې پراختیا (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

زموږ د فابریکې څخه لیدو لپاره تاسو ته ښه راغلاست وایو ، راځئ چې نور بحث وکړو!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • مخکینی:
  • بل:

  • د WhatsApp آنلاین چیٹ!