سیلیکون کاربایډیو سخت مرکب دی چې سیلیکون او کاربن لري، او په طبیعت کې د خورا نادر معدنی مویسانیت په توګه موندل کیږي. د سیلیکون کاربایډ ذرات د سینټرینګ په واسطه یو بل سره تړل کیدی شي ترڅو خورا سخت سیرامیکونه رامینځته کړي ، کوم چې په پراخه کچه په غوښتنلیکونو کې کارول کیږي چې لوړ دوام ته اړتیا لري ، په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر پروسس کې.
د سي سي فزيکي جوړښت
د سی سی کوټینګ څه شی دی؟
د سی سی کوټینګ یو کثافات، د اغوستلو په وړاندې مقاومت لرونکی سیلیکون کاربایډ کوټ دی چې د لوړې تودوخې او تودوخې مقاومت او غوره حرارتي چالکتیا سره. دا د لوړ پاکوالي SiC کوټینګ په ابتدايي توګه د سیمیکمډکټر او بریښنایی صنعتونو کې کارول کیږي ترڅو د ویفر کیریرونو ، اډو او تودوخې عناصرو د ککړتیا او عکس العمل چاپیریال څخه ساتنه وکړي. د سی سی کوټینګ د ویکیوم فرنسونو او نمونې تودوخې لپاره هم مناسب دی په لوړ خلا ، عکس العمل او اکسیجن چاپیریال کې.
د لوړ پاکوالي SiC کوټینګ سطح
د SiC کوټینګ پروسه څه ده؟
د سیلیکون کاربایډ یو پتلی طبقه د سبسټریټ په سطحه په کارولو سره زیرمه کیږيCVD (د کیمیاوي بخار جمع کول). زیرمه کول معمولا د 1200-1300 ° C په تودوخې کې ترسره کیږي او د سبسټریټ موادو د تودوخې پراختیا چلند باید د SiC کوټینګ سره مطابقت ولري ترڅو حرارتي فشار کم کړي.
د CVD SIC کوټینګ فلم کریسټال جوړښت
د SiC کوټینګ فزیکي ملکیتونه په عمده ډول د دې د لوړې تودوخې مقاومت ، سختۍ ، د اوریدو مقاومت او حرارتي چالکتیا منعکس کیږي.
عادي فزیکي پیرامیټونه معمولا په لاندې ډول دي:
سختۍ: د SiC کوټینګ عموما د 2000-2500 HV په رینج کې د ویکرز سختۍ لري، کوم چې دوی ته په صنعتي غوښتنلیکونو کې خورا لوړ پوښاک او اغیزې مقاومت ورکوي.
کثافت: SiC کوټینګونه عموما د 3.1-3.2 g/cm³ کثافت لري. لوړ کثافت د کوټینګ میخانیکي ځواک او دوام سره مرسته کوي.
حرارتي چالکتیا: SiC کوټینګونه لوړ حرارتي چالکتیا لري، معمولا د 120-200 W/mK په حد کې (په 20 درجو کې). دا دې ته د تودوخې لوړ چاپیریال کې ښه حرارتي چالکتیا ورکوي او دا په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر صنعت کې د تودوخې درملنې تجهیزاتو لپاره مناسب کوي.
خټکی: سیلیکون کاربایډ تقریبا د 2730 ° C د خټکي نقطه لري او په خورا تودوخې کې غوره حرارتي ثبات لري.
د تودوخې توسعې کثافات: SiC کوټینګونه د حرارتي توسعې (CTE) ټیټ خطي کوفېنټ لري، معمولا د 4.0-4.5 µm/mK په حد کې (په 25-1000℃ کې). دا پدې مانا ده چې د دې ابعادي ثبات د تودوخې لوی توپیرونو په پرتله خورا ښه دی.
د سنګر مقاومت: د SiC کوټینګونه په قوي اسید، الکلي او اکسیډیز چاپیریال کې د زنګ په وړاندې خورا مقاومت لري، په ځانګړې توګه کله چې قوي اسیدونه (لکه HF یا HCl) کاروي، د دوی د زنګ مقاومت د دودیزو فلزي موادو څخه ډیر وي.
د سی سی کوټینګونه په لاندې موادو کې پلي کیدی شي:
د لوړ پاکوالي اسوسټاټیک ګرافائٹ (ټيټ CTE)
ټنګسټن
Molybdenum
سیلیکون کاربایډ
سیلیکون نایټریډ
د کاربن-کاربن مرکبات (CFC)
د SiC لیپت شوي محصولات عموما په لاندې برخو کې کارول کیږي:
د LED چپ تولید
د پولیسیلیکون تولید
د سیمی کنډکټرکرسټال وده
سیلیکون اوSiC epitaxy
د ویفر تودوخې درملنه او نقاشي
ولې د VET انرژي غوره کړئ؟
VET انرژي په چین کې د SiC کوټینګ محصولاتو مخکښ جوړونکی ، نوښتګر او مشر دی ، د SiC کوټینګ محصولات پکې شامل ديد ویفر کیریر د SiC کوټینګ سره، SiC لیپت شویepitaxial susceptor, د SiC لیپت شوي ګرافیت حلقه, د نیمه سپوږمۍ برخې د SiC کوٹنگ سره, SiC پوښل شوی کاربن - کاربن مرکب, د سی سی لیپت ویفر کشتۍ, د SiC لیپت شوی هیټرVET انرژي د سیمیک کنډکټر صنعت ته د حتمي ټیکنالوژۍ او محصول حلونو چمتو کولو ته ژمن دی ، او د دودیز خدماتو ملاتړ کوي. موږ په صادقانه توګه په چین کې ستاسو د اوږدمهاله همکار په توګه سترګې په لار یو.
که تاسو کومه پوښتنه لرئ یا اضافي توضیحاتو ته اړتیا لرئ، مهرباني وکړئ له موږ سره په اړیکه کې مه هیروئ.
واټساپ او ویچټ: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
د پوسټ وخت: اکتوبر-18-2024