د SiC کوټینګ د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو (CVD)، مخکینۍ بدلون، پلازما سپری کولو او داسې نورو په واسطه چمتو کیدی شي. د کیمیاوي بخار د زیرمو لخوا چمتو شوی کوټ یونیفورم او کمپیکٹ دی، او ښه ډیزاین وړتیا لري. د میتیل ټریکلوسیلین کارول. (CHzSiCl3، MTS) د سیلیکون سرچینې په توګه، د SiC کوټینګ چمتو کول ...
نور ولولئ