د بخار مرحلې epitaxy (VPE) پروسې په جریان کې، د پیډسټال رول د سبسټریټ ملاتړ کول او د ودې پروسې په جریان کې یونیفورم تودوخه تضمین کول دي. د پیډسټال مختلف ډولونه د مختلف ودې شرایطو او مادي سیسټمونو لپاره مناسب دي. لاندې د بخار مرحله کې د پیډسټال ځینې عام ډولونه ديepitaxy:
د بیرل پیډسټال
د بیرل پیډسټالونه معمولا په افقی یا خړوب شوي بخار مرحله epitaxy سیسټمونو کې کارول کیږي. دوی کولی شي سبسټریټ ونیسي او ګاز ته اجازه ورکړي چې په سبسټریټ کې جریان وکړي ، کوم چې د یونیفورم اپیټیکسیل ودې ترلاسه کولو کې مرسته کوي.
د ډیسک په شکل پیډسټل (عمودی پیډسټل)
د ډیسک په شکل پیډسټالونه د عمودی بخار مرحله epitaxy سیسټمونو لپاره مناسب دي، په کوم کې چې سبسټریټ په عمودی توګه ځای پرځای شوي. دا ډیزاین د سبسټریټ او سوسیپټر ترمینځ د تماس ساحه کمولو کې مرسته کوي ، پدې توګه د تودوخې ضایع کول او احتمالي ککړتیا کموي.
افقی شکونکی
افقي شکونکي د بخار مرحله epitaxy کې لږ عام دي، مګر کیدای شي د ودې په ځینو ځانګړو سیسټمونو کې وکارول شي ترڅو په افقی لوري کې د epitaxial ودې ته اجازه ورکړي.
Monolithic epitaxial غبرګون susceptor
د monolithic epitaxial تعامل سوسیپټر د یو واحد سبسټریټ لپاره ډیزاین شوی، کوم چې کولی شي د تودوخې دقیق کنټرول او غوره حرارتي انزوا چمتو کړي، د لوړ کیفیت epitaxial پرتونو د ودې لپاره مناسب.
د محصول معلوماتو او مشورې لپاره زموږ ویب پاڼې ته ښه راغلاست.
زموږ ویب پاڼه: https://www.vet-china.com/
د پوسټ وخت: جولای 30-2024