د سیمیکمډکټر په ساحه کې د سیلیکون کاربایډ سیرامیک پلي کول

د فوتوګرافي ماشینونو دقیق برخو لپاره غوره توکي

د سیمی کنډکټر په ساحه کې،سیلیکون کاربایډ سیرامیکمواد په عمده توګه د مدغم سرکټ تولید لپاره په کلیدي تجهیزاتو کې کارول کیږي، لکه سیلیکون کاربایډ ورک میز، لارښود ریلونه،عکاسان, د سیرامیک سکشن چکد لیتوګرافي ماشینونو لپاره وسلې، د پیس کولو ډیسکونه، فکسچرونه او نور.

د سیلیکون کاربایډ سیرامیک برخېد سیمیکمډکټر او نظری تجهیزاتو لپاره

● سیلیکون کاربایډ سیرامیک پیسولو ډیسک. که چیرې د پیس کولو ډیسک د کاسټ اوسپنې یا کاربن فولاد څخه جوړ شوی وي ، نو د دې خدمت ژوند لنډ دی او د حرارتي توسع کط لوی دی. د سیلیکون ویفرونو پروسس کولو په جریان کې ، په ځانګړي توګه د تیز سرعت پیس کولو یا پالش کولو پرمهال ، د پیسیدو ډیسک اغوستل او حرارتي تخریب دا ستونزمن کوي ​​​​چې د سیلیکون ویفر فلیټ او موازي ډاډ ترلاسه کړي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونو څخه جوړ شوی د پیس کولو ډیسک لوړ سختی او ټیټ پوښل لري ، او د تودوخې توسعې کثافات اساسا د سیلیکون ویفرونو سره ورته دي ، نو دا په لوړ سرعت سره ځمکني او پالش کیدی شي.
● سیلیکون کاربایډ سیرامیک فکسچر. سربیره پردې ، کله چې سیلیکون ویفرونه تولید کیږي ، دوی اړتیا لري د لوړې تودوخې تودوخې درملنه وکړي او ډیری وختونه د سیلیکون کاربایډ فکسچرونو په کارولو سره لیږدول کیږي. دوی د تودوخې په وړاندې مقاومت لرونکي او غیر ویجاړونکي دي. د الماس په څیر کاربن (DLC) او نور پوښونه په سطح باندې پلي کیدی شي ترڅو فعالیت لوړ کړي ، د ویفر زیان کم کړي ، او د ککړتیا د خپریدو مخه ونیسي.
● سیلیکون کاربایډ worktable. د مثال په توګه د لیتوګرافي ماشین کې د ورک میز اخیستل ، ورک میز په عمده ډول د افشا کولو حرکت بشپړولو لپاره مسؤل دی ، د لوړ سرعت ، لوی سټروک ، شپږ درجې آزادۍ نانو کچې الټرا دقیق حرکت ته اړتیا لري. د مثال په توګه، د لیتوګرافي ماشین لپاره چې د 100nm ریزولوشن سره، د 33nm د ​​پوښښ دقت، او د 10nm د کرښې پلنوالی، د کاري میز موقعیت دقت 10nm ته رسیدو لپاره اړین دی، د ماسک-سیلیکون ویفر یوځل ګام او سکین کولو سرعت 150nm / دی. او په ترتیب سره 120nm/s، او د ماسک سکینګ سرعت 500nm/s ته نږدې دی، او د کار میز ته اړتیا ده چې خورا لوړ حرکت دقت او ثبات ولري.

د کاري میز او مایکرو حرکت میز سکیمیک ډیاګرام (جزوي برخه)

● سیلیکون کاربایډ سیرامیک مربع عکس. په کلیدي مدغم شوي سرکټ تجهیزاتو کې کلیدي برخې لکه د لیتوګرافي ماشینونه پیچلي شکلونه، پیچلي ابعاد، او د سپک وزن لرونکي جوړښتونه لري، چې د داسې سیلیکون کاربایډ سیرامیک اجزاو چمتو کول ستونزمن کوي. اوس مهال، د نړیوال مدغم سرکټ تجهیزاتو جوړونکي، لکه په هالنډ کې ASML، په جاپان کې NIKON او CANON، د مربع شیشې چمتو کولو لپاره د مایکرو کریسټالین شیشې او کارډیرایټ په څیر لوی مقدار توکي کاروي، د لیتوګرافي ماشینونو اصلي برخې، او سیلیکون کاربایډ کاروي. سیرامیکونه د ساده شکلونو سره نور لوړ فعالیت ساختماني اجزا چمتو کولو لپاره. په هرصورت، د چین د ساختماني موادو څیړنې انسټیټیوټ کارپوهانو د لیتوګرافي ماشینونو لپاره د لوی اندازې، پیچلي شکل، خورا سپک وزن، په بشپړه توګه تړل شوي سیلیکون کاربایډ سیرامیک مربع عکسونو او نورو ساختماني او فعال نظری اجزاو چمتو کولو لپاره د ملکیت چمتو کولو ټیکنالوژي کارولې.