1 په کاربن / کاربن حرارتي ساحوي موادو کې د سیلیکون کاربایډ پوښ کولو غوښتنلیک او څیړنې پرمختګ
1.1 د کروسیبل چمتو کولو کې د غوښتنلیک او څیړنې پرمختګ
په واحد کرسټال حرارتي ډګر کې، دکاربن/کاربن کراسبلپه عمده توګه د سیلیکون موادو لپاره د بار وړونکي کڅوړې په توګه کارول کیږي او د سیلیکون سره په اړیکه کې ديکوارټز crucibleلکه څنګه چې په 2 شکل کې ښودل شوي. د کاربن / کاربن کروسیبل کاري تودوخه شاوخوا 1450 ℃ ده، کوم چې د جامد سیلیکون (سیلیکون ډای اکسایډ) او سیلیکون بخار د دوه ګوني تخریب سره مخ کیږي، او په پای کې کرسیبل پتلی کیږي یا حلقوي درز لري. , د crucible د ناکامۍ په پایله کې.
د کاربن/کاربن کمپوزیټ کریبل د کیمیاوي بخاراتو د خپریدو پروسې او د ځای په ځای شوي عکس العمل په واسطه چمتو شوی. جامع کوټ د سیلیکون کاربایډ کوټ (100 ~ 300 μm)، سیلیکون کوټ (10 ~ 20 μm) او د سیلیکون نایټرایډ کوټ (50 ~ 100 μm) څخه جوړ شوی و، کوم چې کولی شي په مؤثره توګه د کاربن / کاربن مرکب داخلي سطح کې د سیلیکون بخار د ککړتیا مخه ونیسي. صلیب وړ د تولید په پروسه کې، د جامع لیپت شوي کاربن / کاربن مرکب کروسیبل ضایع په هر فرنس کې 0.04 ملي میتر دی، او د خدماتو ژوند کولی شي د 180 فرنس وخت ته ورسیږي.
څیړونکو د کیمیاوي تعامل میتود کارولی ترڅو د کاربن / کاربن مرکب کروسیبل په سطحه د تودوخې ځانګړي شرایطو لاندې د یونیفورم سیلیکون کاربایډ کوټینګ رامینځته کړي او د کیریر ګاز محافظت وکړي ، د سیلیکون ډای اکسایډ او سیلیکون فلزي د لوړ تودوخې سینټرینګ کې د خامو موادو په توګه کاروي. کوره پایلې ښیې چې د لوړې تودوخې درملنه نه یوازې د sic کوټینګ پاکوالي او ځواک ته وده ورکوي ، بلکه د کاربن / کاربن مرکب سطح د پوښ مقاومت ته هم وده ورکوي ، او د SiO بخار لخوا د کریبل سطح د زنګ وهلو مخه نیسي. او په مونوکریسټال سیلیکون فرنس کې بې ثباته اکسیجن اتومونه. د کروسیبل د خدمت ژوند د sic کوټینګ پرته د کروسیبل په پرتله 20٪ ډیر شوی.
1.2 د فلو لارښود ټیوب کې د غوښتنلیک او څیړنې پرمختګ
د لارښود سلنډر د کروسیبل پورته موقعیت لري (لکه څنګه چې په 1 شکل کې ښودل شوي). د کرسټال ایستلو په پروسه کې، د ساحې دننه او بهر د تودوخې توپیر خورا لوی دی، په ځانګړې توګه لاندې سطحه د سلیکان موادو ته نږدې ده، د تودوخې درجه لوړه ده، او د سیلیکون بخار لخوا ککړتیا خورا جدي ده.
څیړونکو د لارښود ټیوب د اکسیډریشن ضد کوټینګ او چمتو کولو میتود ساده پروسې او ښه اکسیډریشن مقاومت اختراع کړ. لومړی، د سیلیکون کاربایډ څاڅکي یوه طبقه د لارښود ټیوب په میټرکس کې دننه کرل شوې وه، او بیا د سیلیکون کاربایډ بهرنۍ طبقه چمتو شوې وه، نو د میټریکس او د سلیکون کاربایډ د سطحې سطحې پرت ترمنځ د SiCw لیږد پرت جوړ شو. لکه څنګه چې په 3 شکل کې ښودل شوي. د حرارتي توسعې مجموعه د میټریکس او سیلیکون کاربایډ ترمنځ وه. دا کولی شي په مؤثره توګه د تودوخې فشار کم کړي چې د تودوخې توسعې ضمیمه د نشتوالي له امله رامینځته کیږي.
تحلیل ښیې چې د SiCw مینځپانګې په زیاتوالي سره ، په پوښ کې د درزونو اندازه او شمیر کمیږي. په 1100 ℃ هوا کې د 10h اکسیډیشن وروسته ، د کوټینګ نمونې د وزن کمولو کچه یوازې 0.87٪ ~ 8.87٪ ده ، او د سیلیکون کاربایډ کوټینګ د اکسیډریشن مقاومت او حرارتي شاک مقاومت خورا ښه شوی. د چمتو کولو ټوله پروسه په دوامداره توګه د کیمیاوي بخاراتو زیرمه کولو سره بشپړه شوې ، د سیلیکون کاربایډ کوټینګ چمتو کول خورا ساده شوي ، او د ټول نوزل جامع فعالیت پیاوړی شوی.
څیړونکو د czohr monocrystal سیلیکون لپاره د ګرافیت لارښود ټیوب د میټریکس پیاوړتیا او سطحي پوښ کولو میتود وړاندیز کړی. ترلاسه شوي سیلیکون کاربایډ سلیري د ګرافیت لارښود ټیوب په سطحه په مساوي ډول د 30 ~ 50 μm د کوټینګ ضخامت سره د برش کوټینګ یا سپری کوټینګ میتود سره پوښل شوی ، او بیا د موقعیت عکس العمل لپاره د لوړې تودوخې فرنس کې کیښودل شوی ، د عکس العمل تودوخې. 1850 ~ 2300 ℃ وه، او د تودوخې ساتنه 2 ~ 6h وه. د SiC بهرنۍ طبقه په 24 انچ (60.96 سانتي متره) واحد کرسټال وده فرنس کې کارول کیدی شي، او د کارولو تودوخه 1500 ℃ ده، او دا معلومه شوه چې د 1500h وروسته د ګرافیت لارښود سلنډر په سطحه کې هیڅ ډول درزونه او راټیټ شوي پوډر شتون نلري. .
1.3 د موصلیت سلنډر کې غوښتنلیک او څیړنې پرمختګ
د مونوکریسټالین سیلیکون تودوخې ساحې سیسټم یوې مهمې برخې په توګه ، د موصلیت سلنډر په عمده ډول د تودوخې ضایع کمولو او د تودوخې ساحې چاپیریال د تودوخې تدریجي کنټرول لپاره کارول کیږي. د واحد کرسټال فرنس د داخلي دیوال موصلیت پرت د ملاتړي برخې په توګه، د سیلیکون بخارۍ ککړتیا د محصول د سلیګ راټیټیدو او درزیدو لامل کیږي ، کوم چې په پایله کې د محصول ناکامۍ لامل کیږي.
د C/C-sic مرکب موصلیت ټیوب د سیلیکون بخارۍ د مقاومت د لا زیاتولو لپاره، څیړونکو چمتو شوي C/C-sic مرکب موصلیت ټیوب محصولات د کیمیاوي بخار عکس العمل فرنس کې واچول، او د سیلیکون کاربایډ پوښښ یې چمتو کړ. د C/C-sic جامع موصلیت ټیوب محصولاتو سطحه د کیمیاوي بخار د راټولولو پروسې لخوا. پایلې ښیي چې دا پروسه کولی شي په مؤثره توګه د سیلیکون بخار په واسطه د C/C-sic مرکب په اصلي برخه کې د کاربن فایبر د ککړتیا مخه ونیسي، او د سیلیکون بخارۍ د ککړتیا مقاومت د کاربن / کاربن مرکب په پرتله له 5 څخه تر 10 ځله زیات شوی، او د موصلیت سلنډر خدمت ژوند او د تودوخې ساحې چاپیریال خوندیتوب خورا ښه شوی.
2. پایله او احتمال
د سیلیکون کاربایډ پوښد کاربن / کاربن حرارتي ساحوي موادو کې په پراخه کچه کارول کیږي ځکه چې په لوړه تودوخه کې د غوره اکسیډریشن مقاومت له امله. د کاربن / کاربن حرارتي ساحې موادو ډیریدونکي اندازې سره چې د مونوکریسټالین سیلیکون تولید کې کارول کیږي ، څنګه د تودوخې ساحې موادو په سطحه د سیلیکون کاربایډ کوټینګ یونیفارم ښه کول او د کاربن / کاربن حرارتي ساحې موادو خدمت ژوند ته وده ورکول یوه بیړنۍ ستونزه ګرځیدلې. حل شي.
له بلې خوا ، د مونوکریسټالین سیلیکون صنعت پرمختګ سره ، د لوړ پاک کاربن / کاربن حرارتي ساحوي موادو غوښتنه هم مخ په ډیریدو ده ، او د عکس العمل په جریان کې د داخلي کاربن فایبرونو کې SiC نانوفائبر هم وده کوي. د تجربو په واسطه چمتو شوي د C/C-ZRC او C/C-sic ZrC مرکبونو د ډله ایز خلاصون او خطي خلاصون نرخونه په ترتیب سره -0.32 mg/s او 2.57 μm/s دي. د C/C-sic -ZrC کمپوزیتونو د ډله ایزې او کرښې خلاصولو نرخونه په ترتیب سره -0.24mg/s او 1.66 μm/s دي. د C/C-ZRC کمپوزونه د SiC نانوفایبرونو سره ښه کمولو ځانګړتیاوې لري. وروسته، د SiC nanofibers په وده کې د مختلف کاربن سرچینو اغیزې او د SiC nanofibers میکانیزم چې د C/C-ZRC مرکبونو کمولو وړ ملکیتونه تقویه کوي مطالعه شي.
د کاربن/کاربن کمپوزیټ کریبل د کیمیاوي بخاراتو د خپریدو پروسې او د ځای په ځای شوي عکس العمل په واسطه چمتو شوی. جامع کوټ د سیلیکون کاربایډ کوټ (100 ~ 300 μm)، سیلیکون کوټ (10 ~ 20 μm) او د سیلیکون نایټرایډ کوټ (50 ~ 100 μm) څخه جوړ شوی و، کوم چې کولی شي په مؤثره توګه د کاربن / کاربن مرکب داخلي سطح کې د سیلیکون بخار د ککړتیا مخه ونیسي. صلیب وړ د تولید په پروسه کې، د جامع لیپت شوي کاربن / کاربن مرکب کروسیبل ضایع په هر فرنس کې 0.04 ملي میتر دی، او د خدماتو ژوند کولی شي د 180 فرنس وخت ته ورسیږي.
د پوسټ وخت: فبروري-22-2024