د VET انرژيد PECVD پروسس ګرافائٹ کیریر د لوړ کیفیت مصرف وړ دی چې د PECVD (پلازما وده شوي کیمیاوي بخار جمع کولو) پروسې لپاره مناسب دی. دا ګرافائٹ کیریر د لوړ پاکوالي ، لوړ کثافت ګرافیټ موادو څخه جوړ شوی ، د عالي لوړ تودوخې مقاومت ، د زنګون مقاومت ، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره ، کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته کیریر پلیټ فارم چمتو کړي ، ترڅو د پتلي فلم یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي. جمع
د PECVD پروسې لپاره ګرافیت وړونکي لاندې ځانګړتیاوې لري:
▪ لوړ پاکوالی: خورا ټیټ ناپاک مواد، د فلم د ککړتیا مخنیوی او د فلم کیفیت ډاډمن کول.
▪ لوړ کثافت: لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، د لوړ حرارت او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره مقاومت کولو توان لري.
▪ ښه ابعادي ثبات: په لوړه تودوخه کې کوچني ابعادي بدلون، د پروسې ثبات یقیني کوي.
▪ عالي حرارتي چالکتیا: په مؤثره توګه تودوخه لیږدوي ترڅو د ویفر ډیر تودوخې مخه ونیسي.
▪ د زنګ وهلو قوي مقاومت: د مختلفو غازونو او پلازما د تخریب په وړاندې مقاومت کولی شي.
▪ دودیز خدمت: د مختلفو اندازو او شکلونو ګرافیت وړونکي د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.
د SGL څخه ګرافیت مواد:
| عام پیرامیټر: R6510 | |||
| شاخص | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غنمو منځنۍ اندازه | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| خلاص porosity | DIN66133 | 10 | % |
| د منځني سوري اندازه | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| انعطاف ځواک | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| فشاري ځواک | DIN 51910 | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډل | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| حرارتي توسع (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکتیا (20 ℃) | DIN 51908 | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی ، د G12 لوی اندازې ویفر پروسس کولو ملاتړ کوي. مطلوب کیریر ډیزاین د پام وړ د تولید کچه ډیروي، د لوړ حاصل نرخ او د تولید ټیټ لګښتونه وړوي.
| توکي | ډول | شمیره ویفر کیریر |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 156 لړۍ | 156-13 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۴۴ |
| 156-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۱۶ | |
| 156-21 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۴۰ | |
| 156-23 ګرافائٹ کشتۍ | ۳۰۸ | |
| PEVCD Grephite کشتۍ - د 125 لړۍ | 125-15 ګریفائٹ کشتۍ | ۱۹۶ |
| 125-19 ګریفائٹ کشتۍ | ۲۵۲ | |
| 125-21 ګرافائٹ کښتۍ | ۲۸۰ |
