Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorیو ځانګړی ډیزاین شوی ملاتړ او تودوخه وسیله ده چې د تولید پروسو لکه ډیپوزیشن یا ایپیټاکسي پروسې په جریان کې د سیمیکمډکټر سبسټریټ ساتلو او تودوخې لپاره کارول کیږي.
د دې جوړښت کې معمولا سلنډر یا یو څه د بیرل په شکل کې شامل دي، د سطحې ځانګړتیاوې د ویفرونو د ځای پرځای کولو لپاره ډیری جیبونه یا پلیټ فارمونه، د تودوخې طریقې پورې اړه لري، کیدای شي جامد یا خاکي ډیزاین وي.
د epitaxial barrel susceptor اصلي دندې:
- د سبسټریټ ملاتړ: په خوندي ډول ډیری سیمیکمډکټر ویفرونه ساتي؛
- د تودوخې سرچینه: د تودوخې له لارې د ودې لپاره اړین لوړ تودوخې چمتو کوي؛
- د تودوخې یونیفارمیت: د فرعي موادو یونیفورم تودوخه تضمینوي؛
- گردش: معمولا د ودې په جریان کې د تودوخې او د ګازو توزیع یو شان والي ته وده ورکوي.
د Epi ګرافیت بیرل سوسیپټر کاري اصول:
- په epitaxial reactor کې، د بیرل سوسیپټر د اړتیا وړ تودوخې ته تودوخه کیږي (په عموم ډول 1000℃-1200℃ د سیلیکون epitaxy لپاره)؛
- د بیرل سوسیپټر گردش کوي ترڅو د تودوخې یونیفورم توزیع او د ګاز جریان ډاډمن کړي؛
- د تعامل ګازونه په لوړه تودوخه کې تخریب کیږي او د فرعي سطحې په سطحه epitaxial پرتونه جوړوي.
غوښتنلیکونه:
- په عمده توګه د سیلیکون اپیټیکسیل ودې لپاره کارول کیږي
- د نورو سیمیکمډکټر موادو لکه GaAs، InP، او داسې نورو لپاره هم د تطبیق وړ.
د VET انرژي د کیمیاوي ثبات د لوړولو لپاره د CVD-SiC کوټینګ سره د لوړ پاکوالي ګرافیټ کاروي:
د VET انرژي Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor ګټې:
- د لوړ حرارت ثبات؛
- ښه حرارتي یووالي؛
- کولی شي په ورته وخت کې ډیری سبسټریټ پروسس کړي ، د تولید موثریت ښه کړي؛
- کیمیاوي غیر فعال، د لوړ پاکوالي وده چاپیریال ساتل.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd یو لوړ ټیک تصدۍ ده چې د لوړ پای پرمختللي توکو تولید او پلور باندې تمرکز کوي ، مواد او ټیکنالوژي پشمول د ګرافیت ، سیلیکون کاربایډ ، سیرامیک ، د سطحې درملنې لکه SiC کوټینګ ، TaC کوټینګ ، شیشې کاربن. کوټ کول، pyrolytic کاربن کوټینګ، او داسې نور، دا محصولات په پراخه کچه د فوتوولټیک، سیمیکمډکټر، نوې انرژي، فلزات، او داسې نور.
زموږ تخنیکي ټیم د لوړ کورني څیړنیزو موسسو څخه راځي، او د محصول فعالیت او کیفیت ډاډمن کولو لپاره ډیری پیټ شوي ټیکنالوژي رامینځته کړې، کولی شي پیرودونکو ته مسلکي مادي حلونه هم چمتو کړي.
موږ تاسو ته ښه راغلاست وایو چې زموږ لابراتوار څخه لیدنه وکړئ او د تخنیکي بحث او همکارۍ لپاره بوټي!
