Dlaczego ściany boczne wyginają się podczas trawienia na sucho?

Nierównomierność bombardowania jonowego

Suchyakwafortato zwykle proces łączący efekty fizyczne i chemiczne, w którym bombardowanie jonami jest ważną metodą trawienia fizycznego. Podczasproces trawienia, kąt padania i rozkład energii jonów mogą być nierówne.

Jeżeli kąt padania jonów jest różny w różnych miejscach na ściankę boczną, efekt trawienia jonów na ściance bocznej również będzie inny. W obszarach o większych kątach padania jonów działanie trawiące jonów na ścianę boczną jest silniejsze, co powoduje większe trawienie ściany bocznej w tym obszarze, co powoduje jej wygięcie. Ponadto nierównomierny rozkład energii jonów również spowoduje podobne skutki. Jony o wyższej energii mogą skuteczniej usuwać materiały, co powoduje niespójnośćakwafortastopni ściany bocznej w różnych pozycjach, co z kolei powoduje wygięcie ściany bocznej.

Wpływ fotomaski

Fotorezyst pełni rolę maski w procesie trawienia na sucho, chroniąc obszary, które nie wymagają trawienia. Jednakże na fotomaskę wpływa również bombardowanie plazmą i reakcje chemiczne podczas procesu trawienia, a jej działanie może się zmienić.

Jeżeli grubość fotomaski jest nierówna, zużycie w procesie trawienia jest nierówne lub przyczepność fotomaski do podłoża jest różna w różnych miejscach, może to prowadzić do nierównomiernej ochrony ścian bocznych podczas procesu trawienia. Na przykład obszary o cieńszej fotomasce lub słabszej przyczepności mogą sprawić, że materiał znajdujący się pod spodem będzie łatwiejszy do wytrawienia, powodując wyginanie się ścian bocznych w tych miejscach.

Różnice we właściwościach materiału podłoża

Sam wytrawiony materiał podłoża może mieć różne właściwości, takie jak różne orientacje kryształów i stężenia domieszki w różnych obszarach. Różnice te będą miały wpływ na szybkość trawienia i selektywność trawienia.
Na przykład w krzemie krystalicznym rozmieszczenie atomów krzemu w różnych orientacjach kryształów jest inne, a ich reaktywność i szybkość trawienia gazem trawiącym również będą różne. Podczas procesu trawienia różne szybkości trawienia spowodowane różnicami we właściwościach materiału spowodują, że głębokość trawienia ścian bocznych w różnych miejscach będzie niespójna, co ostatecznie doprowadzi do wygięcia ścian bocznych.

Czynniki związane ze sprzętem

Wydajność i stan sprzętu do trawienia również mają istotny wpływ na wyniki trawienia. Na przykład problemy takie jak nierównomierny rozkład plazmy w komorze reakcyjnej i nierównomierne zużycie elektrody mogą prowadzić do nierównomiernego rozkładu parametrów, takich jak gęstość jonów i energia na powierzchni płytki podczas trawienia.

Ponadto nierówna kontrola temperatury sprzętu i niewielkie wahania przepływu gazu mogą również wpływać na równomierność trawienia, prowadząc do wyginania ścian bocznych.