Węglik krzemuto twardy związek zawierający krzem i węgiel, występujący w przyrodzie jako niezwykle rzadki minerał moissanit. Cząstki węglika krzemu można łączyć ze sobą poprzez spiekanie, tworząc bardzo twardą ceramikę, która jest szeroko stosowana w zastosowaniach wymagających dużej trwałości, zwłaszcza w procesji półprzewodników.
Struktura fizyczna SiC
Co to jest powłoka SiC?
Powłoka SiC to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu o wysokiej odporności na korozję i ciepło oraz doskonałej przewodności cieplnej. Ta powłoka SiC o wysokiej czystości stosowana jest głównie w przemyśle półprzewodników i elektroniki do ochrony nośników płytek, podstaw i elementów grzejnych przed środowiskami korozyjnymi i reaktywnymi. Powłoka SiC nadaje się również do pieców próżniowych i ogrzewania próbek w środowiskach wysokiej próżni, reaktywnych i tlenowych.
Powierzchnia powłoki SiC o wysokiej czystości
Na czym polega proces powlekania SiC?
Na powierzchnię podłoża nakłada się cienką warstwę węglika krzemu za pomocąCVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej). Osadzanie zwykle przeprowadza się w temperaturach 1200-1300°C, a rozszerzalność cieplna materiału podłoża powinna być zgodna z powłoką SiC, aby zminimalizować naprężenia termiczne.
STRUKTURA KRYSTALICZNA FOLII Powłoka CVD SIC
Właściwości fizyczne powłoki SiC odzwierciedlają się głównie w jej odporności na wysokie temperatury, twardości, odporności na korozję i przewodności cieplnej.
Typowe parametry fizyczne są zwykle następujące:
Twardość: Powłoki SiC mają zazwyczaj twardość Vickersa w zakresie 2000-2500 HV, co zapewnia im wyjątkowo wysoką odporność na zużycie i uderzenia w zastosowaniach przemysłowych.
Gęstość: Powłoki SiC mają zazwyczaj gęstość 3,1-3,2 g/cm3. Wysoka gęstość wpływa na wytrzymałość mechaniczną i trwałość powłoki.
Przewodność cieplna: Powłoki SiC mają wysoką przewodność cieplną, zwykle w zakresie 120-200 W/mK (w temperaturze 20°C). Zapewnia to dobrą przewodność cieplną w środowiskach o wysokiej temperaturze i sprawia, że szczególnie nadaje się do urządzeń do obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników.
Temperatura topnienia: węglik krzemu ma temperaturę topnienia około 2730°C i ma doskonałą stabilność termiczną w ekstremalnych temperaturach.
Współczynnik rozszerzalności cieplnej: Powłoki SiC mają niski liniowy współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE), zwykle w zakresie 4,0-4,5 µm/mK (w zakresie 25-1000℃). Oznacza to, że jego stabilność wymiarowa jest doskonała przy dużych różnicach temperatur.
Odporność na korozję: Powłoki SiC są wyjątkowo odporne na korozję w środowiskach silnych kwasów, zasad i utleniających, szczególnie w przypadku stosowania mocnych kwasów (takich jak HF lub HCl), a ich odporność na korozję znacznie przewyższa odporność na korozję konwencjonalnych materiałów metalowych.
Powłoki SiC można nakładać na następujące materiały:
Grafit izostatyczny o wysokiej czystości (niski współczynnik CTE)
Wolfram
Molibden
Węglik krzemu
Azotek krzemu
Kompozyty węgiel-węgiel (CFC)
Produkty pokryte SiC są powszechnie stosowane w następujących obszarach:
Produkcja chipów LED
Produkcja polikrzemu
Półprzewodnikwzrost kryształów
Silikon iEpitaksja SiC
Obróbka cieplna i trawienie płytek
Dlaczego warto wybrać VET Energy?
VET Energy jest wiodącym producentem, innowatorem i liderem produktów powłokowych SiC w Chinach. Do głównych produktów powłokowych SiC należąnośnik waflowy z powłoką SiC, pokryty SiCsusceptor epitaksjalny, Pierścień grafitowy pokryty SiC, Części półksiężycowe z powłoką SiC, Kompozyt węgiel-węgiel pokryty SiC, Łódź waflowa pokryta SiC, Grzejnik pokryty SiCitp. Firma VET Energy angażuje się w dostarczanie przemysłowi półprzewodników najlepszych technologii i rozwiązań produktowych oraz wspiera usługi dostosowywania. Z niecierpliwością czekamy na bycie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.
Whatsapp i Wechat: + 86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Czas publikacji: 18 października 2024 r