Kluczowe znaczenie mają komponenty grafitowe o wysokiej czystościprocesów w przemyśle półprzewodników, LED i energii słonecznej. Nasza oferta obejmuje materiały eksploatacyjne grafitowe do gorących stref hodowli kryształów (grzejniki, susceptory tygli, izolacja) po precyzyjne komponenty grafitowe do urządzeń do przetwarzania płytek, takie jak grafitowe susceptory powlekane węglikiem krzemu do epitaksji lub MOCVD. Tutaj w grę wchodzi nasz specjalny grafit: grafit izostatyczny ma podstawowe znaczenie w produkcji złożonych warstw półprzewodników. Są one generowane w „gorącej strefie” w ekstremalnych temperaturach podczas tak zwanego procesu epitaksji, czyli MOCVD. Obrotowy nośnik, na którym powlekane są płytki w reaktorze, składa się z grafitu izostatycznego pokrytego węglikiem krzemu. Tylko ten bardzo czysty, jednorodny grafit spełnia wysokie wymagania w procesie powlekania.
TPodstawową zasadą wzrostu płytek epitaksjalnych LED jest: na podłożu (głównie szafir, SiC i Si) podgrzanym do odpowiedniej temperatury materiał gazowy InGaAlP transportowany jest na powierzchnię podłoża w sposób kontrolowany w celu wyhodowania specyficznej warstwy monokryształu. Obecnie technologia wzrostu płytek epitaksjalnych LED wykorzystuje głównie chemiczne osadzanie z fazy gazowej metali organicznych.
Epitaksjalny materiał podłoża LEDjest kamieniem węgielnym rozwoju technologicznego półprzewodnikowego przemysłu oświetleniowego. Różne materiały podłoża wymagają różnych technologii epitaksjalnego wzrostu płytek LED, technologii przetwarzania chipów i technologii pakowania urządzeń. Materiały podłoża wyznaczają drogę rozwoju półprzewodnikowej technologii oświetleniowej.
Charakterystyka doboru materiału podłoża waflowego epitaksjalnego LED:
1. Materiał epitaksjalny ma taką samą lub podobną strukturę krystaliczną jak podłoże, małe niedopasowanie stałej sieci, dobrą krystaliczność i niską gęstość defektów
2. Dobra charakterystyka interfejsu, sprzyjająca zarodkowaniu materiałów epitaksjalnych i silnej przyczepności
3. Ma dobrą stabilność chemiczną i nie jest łatwy do rozkładu i korozji w temperaturze i atmosferze wzrostu epitaksjalnego
4. Dobra wydajność cieplna, w tym dobra przewodność cieplna i niskie niedopasowanie termiczne
5. Dobra przewodność, można zastosować w górnej i dolnej strukturze 6, dobre właściwości optyczne, a światło emitowane przez wytworzone urządzenie jest mniej absorbowane przez podłoże
7. Dobre właściwości mechaniczne i łatwa obróbka wyrobów, w tym rozcieńczanie, polerowanie i cięcie
8. Niska cena.
9. Duży rozmiar. Generalnie średnica nie powinna być mniejsza niż 2 cale.
10. Łatwo jest uzyskać podłoże o regularnym kształcie (chyba że istnieją inne specjalne wymagania), a kształt podłoża podobny do otworu tacy sprzętu epitaksjalnego nie jest łatwy do wytworzenia nieregularnego prądu wirowego, który miałby wpływ na jakość epitaksjalną.
11. Przy założeniu braku wpływu na jakość epitaksjalną obrabialność podłoża powinna w miarę możliwości odpowiadać wymaganiom późniejszej obróbki wiórów i opakowań.
Bardzo trudno jest dobrać podłoże, aby jednocześnie spełniało powyższe jedenaście aspektów. Dlatego obecnie możemy dostosować się do prac badawczo-rozwojowych i produkcji półprzewodnikowych urządzeń emitujących światło na różnych podłożach jedynie poprzez zmianę technologii wzrostu epitaksjalnego i dostosowanie technologii przetwarzania urządzeń. Istnieje wiele materiałów podłoża do badań azotku galu, ale tylko dwa podłoża można wykorzystać do produkcji, a mianowicie szafir Al2O3 i węglik krzemuPodłoża SiC.
Czas publikacji: 28 lutego 2022 r