Wraz ze stopniową masową produkcją przewodzących podłoży SiC stawiane są wyższe wymagania dotyczące stabilności i powtarzalności procesu. W szczególności kontrola defektów, niewielka regulacja lub dryft pola cieplnego w piecu, spowoduje zmiany kryształów lub wzrost defektów. W późniejszym okresie musimy stawić czoła wyzwaniu „szybkiego, długiego i grubego oraz dorastania”, oprócz doskonalenia teorii i inżynierii, potrzebujemy także bardziej zaawansowanych materiałów pola termicznego jako wsparcia. Używaj zaawansowanych materiałów, hoduj zaawansowane kryształy.
Niewłaściwe użycie materiałów tygla, takich jak grafit, grafit porowaty, sproszkowany węglik tantalu itp. w gorącym polu, doprowadzi do defektów, takich jak zwiększone wtrącenie węgla. Ponadto w niektórych zastosowaniach przepuszczalność porowatego grafitu nie jest wystarczająca i potrzebne są dodatkowe otwory w celu zwiększenia przepuszczalności. Porowaty grafit o wysokiej przepuszczalności stawia czoła wyzwaniom związanym z przetwarzaniem, usuwaniem proszku, trawieniem i tak dalej.
VET wprowadza nową generację materiału pola termicznego do hodowli kryształów SiC, porowatego węglika tantalu. Światowy debiut.
Wytrzymałość i twardość węglika tantalu jest bardzo wysoka, a nadanie mu porowatości stanowi wyzwanie. Wytwarzanie porowatego węglika tantalu o dużej porowatości i wysokiej czystości jest dużym wyzwaniem. Firma Hengpu Technology wprowadziła na rynek przełomowy porowaty węglik tantalu o dużej porowatości, o maksymalnej porowatości 75%, będący liderem na świecie.
Można zastosować filtrację składników fazy gazowej, regulację lokalnego gradientu temperatury, kierunku przepływu materiału, kontrolę wycieków itp. Można go stosować z inną powłoką z węglika tantalu (kompaktową) lub węglikiem tantalu firmy Hengpu Technology w celu utworzenia lokalnych komponentów o różnej przewodności przepływu.
Niektóre elementy można ponownie wykorzystać.
Czas publikacji: 14 lipca 2023 r