Podczas procesu epitaksji z fazy gazowej (VPE) rolą cokołu jest podparcie podłoża i zapewnienie równomiernego ogrzewania podczas procesu wzrostu. Różne typy cokołów są odpowiednie dla różnych warunków wzrostu i systemów materiałowych. Poniżej przedstawiono niektóre z powszechnie stosowanych typów cokołów w fazie gazowejepitaksja:
Cokół beczkowy
Cokoły beczkowe są powszechnie stosowane w poziomych lub pochylonych systemach epitaksji w fazie gazowej. Mogą utrzymać podłoże i umożliwić przepływ gazu po podłożu, co pomaga osiągnąć równomierny wzrost epitaksjalny.
Cokół w kształcie dysku (cokół pionowy)
Cokoły w kształcie dysku nadają się do pionowych systemów epitaksji w fazie gazowej, w których podłoże jest umieszczone pionowo. Taka konstrukcja pomaga zmniejszyć powierzchnię styku podłoża z susceptorem, zmniejszając w ten sposób straty ciepła i potencjalne zanieczyszczenie.
Susceptor poziomy
Susceptory poziome są mniej powszechne w epitaksji z fazy gazowej, ale można je zastosować w niektórych specyficznych systemach wzrostu, aby umożliwić wzrost epitaksjalny w kierunku poziomym.
Monolityczny susceptor reakcji epitaksjalnej
Monolityczny susceptor reakcji epitaksjalnej jest przeznaczony dla pojedynczego podłoża, które może zapewnić bardziej precyzyjną kontrolę temperatury i lepszą izolację termiczną, odpowiednią do wzrostu wysokiej jakości warstw epitaksjalnych.
Witamy na naszej stronie internetowej w celu uzyskania informacji o produktach i konsultacji.
Nasza strona internetowa: https://www.vet-china.com/
Czas publikacji: 30 lipca 2024 r