Kiedy kryształ węglika krzemu rośnie, „środowisko” granicy wzrostu pomiędzy osiowym środkiem kryształu a krawędzią jest inne, tak że naprężenia kryształu na krawędzi wzrastają, a na krawędzi kryształu łatwo jest wytworzyć „kompleksowe defekty” z powodu na wpływ grafitowego pierścienia oporowego „carbon”, jak rozwiązać problem krawędzi lub zwiększyć efektywną powierzchnię środka (ponad 95%), jest ważnym tematem technicznym.
Ponieważ makrodefekty, takie jak „mikrotubule” i „wtrącenia”, są stopniowo kontrolowane przez przemysł, co stanowi wyzwanie dla kryształów węglika krzemu, aby „rosły szybko, długo i gęsto oraz rosły”, „kompleksowe defekty” na krawędziach są nienormalnie widoczne, a przy wzrostem średnicy i grubości kryształów węglika krzemu, krawędź „defektów kompleksowych” zostanie pomnożona przez kwadrat średnicy i grubość.
Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, co jest jednym z podstawowych kierunków technicznych „szybkiego wzrostu, wzrostu grubości i dorastania”. Aby promować rozwój technologii przemysłowej i rozwiązać zależność od „importu” kluczowych materiałów, Hengpu dokonał przełomowego rozwiązania technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD) i osiągnął międzynarodowy poziom zaawansowany.
Powłoka TaC z węglika tantalu z punktu widzenia realizacji nie jest trudna, przy spiekaniu, CVD i innych metodach jest łatwa do osiągnięcia. Metoda spiekania polegająca na zastosowaniu proszku lub prekursora węglika tantalu, dodaniu składników aktywnych (zazwyczaj metalu) i środka wiążącego (zazwyczaj polimeru o długim łańcuchu), naniesionych na powierzchnię podłoża grafitowego spiekanego w wysokiej temperaturze. Metodą CVD TaCl5+H2+CH4 osadzono na powierzchni osnowy grafitowej w temperaturze 900-1500℃.
Jednak podstawowe parametry, takie jak orientacja kryształów osadzania węglika tantalu, jednolita grubość warstwy, uwalnianie naprężeń pomiędzy powłoką a osnową grafitową, pęknięcia powierzchniowe itp., stanowią ogromne wyzwanie. Zwłaszcza w takim środowisku wzrostu kryształów, podstawowym parametrem jest stabilna żywotność, która jest najtrudniejsza.
Czas publikacji: 21 lipca 2023 r