Wymagania przemysłu półprzewodników dotyczące wymagań dotyczących materiału grafitowego są szczególnie wysokie, drobne cząstki grafitu mają wysoką precyzję, odporność na wysoką temperaturę, wysoką wytrzymałość, małe straty i inne zalety, takie jak: forma produktów ze spiekanego grafitu.Ponieważ sprzęt grafitowy stosowany w przemyśle półprzewodników (w tym grzejniki i ich matryce spiekane) musi wytrzymywać powtarzające się procesy ogrzewania i chłodzenia, w celu przedłużenia żywotności sprzętu grafitowego zwykle wymagane jest, aby użyte materiały grafitowe miały stabilną wydajność i funkcja uderzenia odporna na ciepło.
01 Akcesoria grafitowe do hodowli kryształów półprzewodników
Wszystkie procesy stosowane w hodowli kryształów półprzewodników działają w wysokiej temperaturze i środowisku korozyjnym. Gorąca strefa pieca do wzrostu kryształów jest zwykle wyposażona w odporne na ciepło i korozję elementy grafitowe o wysokiej czystości, takie jak grzejnik, tygiel, cylinder izolacyjny, cylinder prowadzący, elektroda, uchwyt tygla, nakrętka elektrody itp.
Jesteśmy w stanie wyprodukować wszystkie części grafitowe urządzeń do produkcji kryształów, które mogą być dostarczane pojedynczo lub w zestawach, lub też części grafitowe dostosowane do indywidualnych potrzeb w różnych rozmiarach, zgodnie z wymaganiami klienta. Rozmiar produktów można zmierzyć na miejscu, a zawartość popiołu w gotowych produktach może być mniejszaniż 5 ppm.
02 Akcesoria grafitowe do epitaksji półprzewodników
Proces epitaksjalny odnosi się do wzrostu warstwy materiału monokrystalicznego o takim samym układzie sieci jak podłoże na podłożu monokrystalicznym. W procesie epitaksjalnym płytka ładowana jest na dysk grafitowy. Wydajność i jakość dysku grafitowego odgrywają kluczową rolę w jakości warstwy epitaksjalnej płytki. W dziedzinie produkcji epitaksjalnej potrzebne są duże ilości grafitu o ultrawysokiej czystości i bazy grafitowej o wysokiej czystości z powłoką SIC.
Baza grafitowa naszej firmy do epitaksji półprzewodników ma szeroki zakres zastosowań, może pasować do większości powszechnie stosowanych urządzeń w przemyśle i charakteryzuje się wysoką czystością, jednolitą powłoką, doskonałą żywotnością oraz wysoką odpornością chemiczną i stabilnością termiczną.
03 Akcesoria grafitowe do implantacji jonów
Implantacja jonowa polega na przyspieszaniu wiązki plazmy boru, fosforu i arsenu do określonej energii, a następnie wstrzykiwaniu jej do warstwy wierzchniej materiału płytkowego w celu zmiany właściwości materiału warstwy wierzchniej. Elementy urządzenia do implantacji jonów powinny być wykonane z materiałów o wysokiej czystości, charakteryzujących się doskonałą odpornością na ciepło, przewodnością cieplną, mniejszą korozją powodowaną przez wiązkę jonów i niską zawartością zanieczyszczeń. Grafit o wysokiej czystości spełnia wymagania aplikacji i może być stosowany na rurę przelotową, różne szczeliny, elektrody, osłony elektrod, przewody, terminatory wiązki itp. Sprzętu do implantacji jonów.
Możemy nie tylko zapewnić grafitową osłonę ekranującą dla różnych maszyn do implantacji jonów, ale także zapewnić elektrody grafitowe o wysokiej czystości i źródła jonów o wysokiej odporności na korozję o różnych specyfikacjach. Dotyczy modeli: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM i inny sprzęt. Ponadto możemy dostarczyć również pasujące produkty ceramiczne, wolframowe, molibdenowe, aluminiowe i części powlekane.
04 Grafitowe materiały izolacyjne i inne
Materiały termoizolacyjne stosowane w sprzęcie do produkcji półprzewodników obejmują twardy filc grafitowy, miękki filc, folię grafitową, papier grafitowy i linę grafitową.
Wszystkie nasze surowce to grafit importowany, który możemy pociąć pod konkretny wymiar zgodnie z wymaganiami klienta lub sprzedać w całości.
Taca węgiel-węgiel stosowana jest jako nośnik powłoki filmowej w procesie produkcji ogniw fotowoltaicznych z krzemu monokrystalicznego i polikrystalicznego. Zasada działania jest następująca: włóż chip krzemowy do tacy CFC i wyślij go do rury pieca, aby przetworzyć powłokę.
