ਪਤਲੇ ਹੋਣ ਦੀ ਲੋੜ ਕਿਉਂ ਹੈ?

ਬੈਕ-ਐਂਡ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ,ਵੇਫਰ (ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਫਰੰਟ 'ਤੇ ਸਰਕਟਾਂ ਦੇ ਨਾਲ) ਪੈਕੇਜ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਦੀ ਉਚਾਈ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ, ਚਿੱਪ ਪੈਕੇਜ ਵਾਲੀਅਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ, ਚਿੱਪ ਦੀ ਥਰਮਲ ਫੈਲਾਅ ਕੁਸ਼ਲਤਾ, ਬਿਜਲੀ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ, ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਸੁਧਾਰਨ ਅਤੇ ਇਸ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਬਾਅਦ ਦੇ ਡਾਈਸਿੰਗ, ਵੈਲਡਿੰਗ ਅਤੇ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਪਿੱਠ 'ਤੇ ਪਤਲਾ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ। ਡਾਈਸਿੰਗ ਬੈਕ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਘੱਟ ਲਾਗਤ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਨੇ ਪਰੰਪਰਾਗਤ ਗਿੱਲੀ ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਆਇਨ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਥਾਂ ਲੈ ਲਈ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਬੈਕ ਥਿਨਿੰਗ ਦੀ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਬਣ ਸਕੇ।

ਪਤਲਾ ਵੇਫਰ

ਪਤਲੇ ਕਿਵੇਂ ਕਰੀਏ?

ਰਵਾਇਤੀ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪਤਲਾ ਕਰਨ ਦੀ ਮੁੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਦੇ ਖਾਸ ਕਦਮਵੇਫਰਪਤਲੇ ਕਰਨ ਲਈ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪਤਲੀ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਨਾਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਪਤਲੀ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਇਸ 'ਤੇ ਲੱਗੀ ਚਿੱਪ ਨੂੰ ਪੋਰਸਸ ਸਿਰੇਮਿਕ ਵੇਫਰ ਟੇਬਲ 'ਤੇ ਸੋਖਣ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀਆਂ ਅੰਦਰੂਨੀ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਗੋਲਾਕਾਰ ਬੋਟ ਸੈਂਟਰ ਲਾਈਨਾਂ ਨੂੰ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰੋ। ਕੱਪ-ਆਕਾਰ ਦਾ ਹੀਰਾ ਪੀਸਣ ਵਾਲਾ ਪਹੀਆ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਕੇਂਦਰ ਵਿੱਚ, ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਕਟਿੰਗ-ਇਨ ਪੀਸਣ ਲਈ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਨੂੰ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਸਬੰਧਤ ਧੁਰੇ ਦੁਆਲੇ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ ਤਿੰਨ ਪੜਾਅ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ: ਮੋਟਾ ਪੀਹਣਾ, ਵਧੀਆ ਪੀਹਣਾ ਅਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਨਾ।

ਵੇਫਰ ਫੈਕਟਰੀ ਤੋਂ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪੈਕਿੰਗ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਮੋਟਾਈ ਤੱਕ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪਤਲਾ ਕਰਨ ਲਈ ਬੈਕ ਪੀਸਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪੀਸਣ ਵੇਲੇ, ਸਰਕਟ ਖੇਤਰ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਲਈ ਟੇਪ ਨੂੰ ਅੱਗੇ (ਐਕਟਿਵ ਏਰੀਆ) 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਪਿਛਲਾ ਪਾਸਾ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਪੀਸਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਟੇਪ ਨੂੰ ਹਟਾਓ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਮਾਪੋ।
ਪੀਹਣ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜੋ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਹਨ, ਵਿੱਚ ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ,ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਰੋਟੇਸ਼ਨ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ, ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ, ਆਦਿ। ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਹੋਰ ਸੁਧਾਰ ਦੇ ਨਾਲ, ਨਵੀਂ ਪੀਹਣ ਵਾਲੀਆਂ ਤਕਨੀਕਾਂ ਲਗਾਤਾਰ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ TAIKO ਪੀਸਣਾ, ਰਸਾਇਣਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੀਸਣਾ, ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਪੀਸਣਾ ਅਤੇ ਪਲੈਨਟਰੀ ਡਿਸਕ ਪੀਸਣਾ।

ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣਾ:

ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ (ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ) ਇੱਕ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਅਤੇ ਬੈਕ ਥਿਨਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਚਿੱਤਰ 1 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਰੋਟੇਟਿੰਗ ਟੇਬਲ ਦੇ ਚੂਸਣ ਵਾਲੇ ਕੱਪਾਂ ਉੱਤੇ ਫਿਕਸ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਰੋਟੇਟਿੰਗ ਟੇਬਲ ਦੁਆਰਾ ਸਮਕਾਲੀ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਆਪਣੇ ਧੁਰੇ ਦੁਆਲੇ ਨਹੀਂ ਘੁੰਮਦੇ; ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਰਫ਼ਤਾਰ 'ਤੇ ਘੁੰਮਦੇ ਹੋਏ ਧੁਰੇ ਨਾਲ ਖੁਆਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦਾ ਵਿਆਸ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਆਸ ਨਾਲੋਂ ਵੱਡਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣ ਦੀਆਂ ਦੋ ਕਿਸਮਾਂ ਹਨ: ਫੇਸ ਪਲੰਜ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ ਅਤੇ ਫੇਸ ਟੈਂਜੈਂਸ਼ੀਅਲ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ। ਫੇਸ ਪਲੰਜ ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ, ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੀ ਚੌੜਾਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਆਸ ਨਾਲੋਂ ਵੱਡੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੀ ਸਪਿੰਡਲ ਆਪਣੀ ਧੁਰੀ ਦਿਸ਼ਾ ਦੇ ਨਾਲ ਲਗਾਤਾਰ ਫੀਡ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜਦੋਂ ਤੱਕ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਦੇ ਡਰਾਈਵ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ; ਫੇਸ ਟੈਂਜੈਂਸ਼ੀਅਲ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਪੀਹਣ ਵਾਲਾ ਪਹੀਆ ਆਪਣੀ ਧੁਰੀ ਦਿਸ਼ਾ ਦੇ ਨਾਲ ਫੀਡ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਲਗਾਤਾਰ ਘੁੰਮਣ ਵਾਲੀ ਡਿਸਕ ਦੇ ਡਰਾਈਵ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਨੂੰ ਰਿਸੀਪ੍ਰੋਕੇਟਿੰਗ ਫੀਡਿੰਗ (ਰਿਸੀਪ੍ਰੋਕੇਸ਼ਨ) ਜਾਂ ਕ੍ਰੀਪ ਫੀਡਿੰਗ (ਕ੍ਰੀਪਫੀਡ) ਦੁਆਰਾ ਪੂਰਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਚਿੱਤਰ 1, ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣ (ਚਿਹਰਾ ਟੈਂਜੈਂਸ਼ੀਅਲ) ਸਿਧਾਂਤ ਦਾ ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਚਿੱਤਰ

ਪੀਹਣ ਦੀ ਵਿਧੀ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਹਟਾਉਣ ਦੀ ਦਰ, ਛੋਟੀ ਸਤਹ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ, ਅਤੇ ਆਸਾਨ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ. ਹਾਲਾਂਕਿ, ਪੀਹਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਅਸਲ ਪੀਹਣ ਵਾਲਾ ਖੇਤਰ (ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਪੀਹਣਾ) ਬੀ ਅਤੇ ਕੱਟ-ਇਨ ਐਂਗਲ θ (ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੇ ਬਾਹਰੀ ਚੱਕਰ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਬਾਹਰੀ ਚੱਕਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਦਾ ਕੋਣ) ਕੱਟਣ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਨਾਲ ਬਦਲਦਾ ਹੈ। ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦਾ, ਇੱਕ ਅਸਥਿਰ ਪੀਹਣ ਦੀ ਸ਼ਕਤੀ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ, ਆਦਰਸ਼ ਸਤਹ ਸ਼ੁੱਧਤਾ (ਉੱਚ ਟੀਟੀਵੀ ਮੁੱਲ) ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨੁਕਸ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਕਿਨਾਰੇ ਦਾ ਢਹਿ ਜਾਣਾ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦਾ ਢਹਿ ਜਾਣਾ। ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਹਣ ਵਾਲੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ 200mm ਤੋਂ ਘੱਟ ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ ਵਾਧੇ ਨੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਵਰਕਬੈਂਚ ਦੀ ਸਤਹ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲਈ ਉੱਚ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਅੱਗੇ ਪਾ ਦਿੱਤਾ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣਾ 300mm ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਪੀਸਣ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਨਹੀਂ ਹੈ।
ਪੀਹਣ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ, ਵਪਾਰਕ ਜਹਾਜ਼ ਟੈਂਜੈਂਸ਼ੀਅਲ ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਉਪਕਰਣ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਲਟੀ-ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਮੋਟੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਆਂ ਦਾ ਇੱਕ ਸੈੱਟ ਅਤੇ ਬਾਰੀਕ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਆਂ ਦਾ ਇੱਕ ਸੈੱਟ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ 'ਤੇ ਲੈਸ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਮੋਟੇ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਬਾਰੀਕ ਪੀਸਣ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਚੱਕਰ ਨੂੰ ਘੁੰਮਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਕਿਸਮ ਦੇ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਵਿੱਚ ਅਮਰੀਕੀ GTI ਕੰਪਨੀ (ਚਿੱਤਰ 2) ਦਾ G-500DS ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।

ਚਿੱਤਰ 2, ਸੰਯੁਕਤ ਰਾਜ ਵਿੱਚ GTI ਕੰਪਨੀ ਦਾ G-500DS ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣ ਵਾਲਾ ਉਪਕਰਣ

ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟੇਸ਼ਨ ਪੀਸਣਾ:

ਵੱਡੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਅਤੇ ਬੈਕ ਥਿਨਿੰਗ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ, ਅਤੇ ਚੰਗੇ ਟੀਟੀਵੀ ਮੁੱਲ ਦੇ ਨਾਲ ਸਤਹ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ। 1988 ਵਿੱਚ, ਜਾਪਾਨੀ ਵਿਦਵਾਨ ਮਾਤਸੁਈ ਨੇ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟੇਸ਼ਨ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ (ਇਨ-ਫੀਡ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ) ਵਿਧੀ ਦਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵ ਕੀਤਾ। ਇਸ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਚਿੱਤਰ 3 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਵਰਕਬੈਂਚ 'ਤੇ ਸੋਖਿਆ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਕੱਪ-ਆਕਾਰ ਵਾਲਾ ਹੀਰਾ ਪੀਸਣ ਵਾਲਾ ਪਹੀਆ ਆਪੋ-ਆਪਣੇ ਧੁਰੇ ਦੁਆਲੇ ਘੁੰਮਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਨੂੰ ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਧੁਰੀ ਦਿਸ਼ਾ ਦੇ ਨਾਲ ਲਗਾਤਾਰ ਖੁਆਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਉਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦਾ ਵਿਆਸ ਪ੍ਰੋਸੈਸਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਆਸ ਨਾਲੋਂ ਵੱਡਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਘੇਰਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਕੇਂਦਰ ਵਿੱਚੋਂ ਲੰਘਦਾ ਹੈ। ਪੀਸਣ ਦੀ ਸ਼ਕਤੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਦੀ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ, ਵੈਕਿਊਮ ਚੂਸਣ ਕੱਪ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਉਤਪੱਤੀ ਜਾਂ ਕੋਨਕੇਵ ਸ਼ਕਲ ਵਿੱਚ ਕੱਟਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜਾਂ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੇ ਸਪਿੰਡਲ ਅਤੇ ਚੂਸਣ ਵਾਲੇ ਕੱਪ ਸਪਿੰਡਲ ਧੁਰੇ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਕੋਣ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਅਰਧ-ਸੰਪਰਕ ਪੀਸਣ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ। ਪੀਹਣ ਵਾਲਾ ਪਹੀਆ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ।

ਚਿੱਤਰ 3, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ ਸਿਧਾਂਤ ਦਾ ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਚਿੱਤਰ

ਰੋਟਰੀ ਟੇਬਲ ਪੀਸਣ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ: ① ਸਿੰਗਲ-ਟਾਈਮ ਸਿੰਗਲ-ਵੇਫਰ ਪੀਸਣ 300mm ਤੋਂ ਵੱਧ ਵੱਡੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ; ② ਅਸਲ ਪੀਹਣ ਵਾਲਾ ਖੇਤਰ B ਅਤੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਕੋਣ θ ਸਥਿਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੀਹਣ ਦੀ ਸ਼ਕਤੀ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਥਿਰ ਹੈ; ③ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੇ ਧੁਰੇ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਧੁਰੇ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਝੁਕਾਅ ਦੇ ਕੋਣ ਨੂੰ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰਕੇ, ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਸ਼ਕਲ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਸਤਹ ਆਕਾਰ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਸਰਗਰਮੀ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਦੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਅਤੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਕੋਣ θ ਵਿੱਚ ਵੱਡੇ ਮਾਰਜਿਨ ਪੀਸਣ, ਆਸਾਨ ਔਨਲਾਈਨ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ, ਸੰਖੇਪ ਉਪਕਰਣ ਬਣਤਰ, ਆਸਾਨ ਮਲਟੀ-ਸਟੇਸ਼ਨ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਪੀਸਣ, ਅਤੇ ਉੱਚ ਪੀਹਣ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ।
ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨਾਂ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਦੇ ਸਿਧਾਂਤ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਵਪਾਰਕ ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਉਪਕਰਣ ਇੱਕ ਮਲਟੀ-ਸਪਿੰਡਲ ਮਲਟੀ-ਸਟੇਸ਼ਨ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਇੱਕ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ ਵਿੱਚ ਮੋਟਾ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਵਧੀਆ ਪੀਸਣ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। . ਹੋਰ ਸਹਾਇਕ ਸਹੂਲਤਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲਾ ਕੇ, ਇਹ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਜ਼ "ਡ੍ਰਾਈ-ਇਨ/ਡ੍ਰਾਈ-ਆਊਟ" ਅਤੇ "ਕੈਸੇਟ ਤੋਂ ਕੈਸੇਟ" ਦੀ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਪੀਸਣ ਦਾ ਅਹਿਸਾਸ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਦੋ-ਪੱਖੀ ਪੀਹਣਾ:

ਜਦੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਦੀਆਂ ਉਪਰਲੀਆਂ ਅਤੇ ਹੇਠਲੀਆਂ ਸਤਹਾਂ 'ਤੇ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਵਰਕਪੀਸ ਨੂੰ ਮੋੜਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਕਦਮਾਂ ਵਿੱਚ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਸੀਮਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ ਸਤਹ ਦੀ ਗਲਤੀ ਕਾਪੀ (ਕਾਪੀ ਕੀਤੀ ਗਈ) ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਦੇ ਨਿਸ਼ਾਨ (ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗਮਾਰਕ) ਹਨ, ਅਤੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਵੇਵਿਨੈਸ ਅਤੇ ਟੇਪਰ ਵਰਗੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਦੂਰ ਕਰਨਾ ਅਸੰਭਵ ਹੈ। (ਬਹੁ-ਆਰਾ), ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਤਰ 4 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ. ਉਪਰੋਕਤ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕਰਨ ਲਈ, ਦੋ-ਪੱਖੀ ਪੀਸਣ ਦੀ ਤਕਨੀਕ (ਡਬਲਸਾਈਡ ਗ੍ਰਾਈਂਡਿੰਗ) 1990 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਹੋਈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਚਿੱਤਰ 5 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਦੋਵੇਂ ਪਾਸੇ ਸਮਮਿਤੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੰਡੇ ਗਏ ਕਲੈਂਪ, ਰੀਟੇਨਿੰਗ ਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਕਲੈਂਪ ਕਰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਰੋਲਰ ਦੁਆਰਾ ਹੌਲੀ ਹੌਲੀ ਘੁੰਮਦੇ ਹਨ। ਕੱਪ-ਆਕਾਰ ਦੇ ਹੀਰੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੀ ਇੱਕ ਜੋੜੀ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਦੋਵੇਂ ਪਾਸੇ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਥਿਤ ਹੈ। ਏਅਰ ਬੇਅਰਿੰਗ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਸਪਿੰਡਲ ਦੁਆਰਾ ਚਲਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਉਹ ਉਲਟ ਦਿਸ਼ਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਘੁੰਮਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਦੋ-ਪਾਸੜ ਪੀਸਣ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਧੁਰੇ ਨਾਲ ਭੋਜਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਤਰ ਤੋਂ ਦੇਖਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਸਣਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਵੇਵਿਨੈਸ ਅਤੇ ਟੇਪਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਹਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਪੀਹਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੇ ਧੁਰੇ ਦੀ ਵਿਵਸਥਾ ਦਿਸ਼ਾ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਹਣਾ ਹਰੀਜੱਟਲ ਅਤੇ ਲੰਬਕਾਰੀ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, ਹਰੀਜੱਟਲ ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਹਣਾ ਪੀਹਣ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ 'ਤੇ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਮਰੇ ਹੋਏ ਭਾਰ ਦੇ ਕਾਰਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਗਾੜ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਆਸਾਨ ਹੈ ਕਿ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੇ ਦੋਵੇਂ ਪਾਸੇ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ. ਵੇਫਰ ਇੱਕੋ ਜਿਹੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਘਸਣ ਵਾਲੇ ਕਣ ਅਤੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੀਆਂ ਚਿਪਸ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਰਹਿਣਾ ਆਸਾਨ ਨਹੀਂ ਹਨ ਵੇਫਰ ਇਹ ਇੱਕ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਆਦਰਸ਼ ਪੀਹਣ ਵਿਧੀ ਹੈ.

ਚਿੱਤਰ 4, "ਗਲਤੀ ਕਾਪੀ" ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟੇਸ਼ਨ ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ ਮਾਰਕ ਨੁਕਸ

ਚਿੱਤਰ 5, ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ ਸਿਧਾਂਤ ਦਾ ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਚਿੱਤਰ

ਸਾਰਣੀ 1 ਉਪਰੋਕਤ ਤਿੰਨ ਕਿਸਮਾਂ ਦੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਸਣ ਵਿਚਕਾਰ ਤੁਲਨਾ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਗ੍ਰਾਈਡਿੰਗ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ 200mm ਤੋਂ ਹੇਠਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਵੇਫਰ ਉਪਜ ਹੈ। ਸਥਿਰ ਘਬਰਾਹਟ ਵਾਲੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਪੀਸਣ ਨਾਲ ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਸਣ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਉੱਚੀ ਸਤਹ ਗੁਣਵੱਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਦੋਨੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਡਬਲ-ਸਾਈਡ ਪੀਸਣ ਮੁੱਖ ਧਾਰਾ 300mm ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਫਲੈਟਨਿੰਗ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿਧੀਆਂ ਹਨ। ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਫਲੈਟਨਿੰਗ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿਧੀ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਆਸ ਦੇ ਆਕਾਰ, ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ, ਅਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ 'ਤੇ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਿਚਾਰ ਕਰਨਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਵੇਫਰ ਦਾ ਪਿਛਲਾ ਪਤਲਾ ਹੋਣਾ ਸਿਰਫ ਇੱਕ-ਪਾਸੜ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿਧੀ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੋਟਰੀ ਪੀਸਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ।

ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਪੀਸਣ ਵਿੱਚ ਪੀਸਣ ਦੇ ਢੰਗ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਵਾਜਬ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਚੋਣ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨਾ ਵੀ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਦਬਾਅ, ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੇ ਅਨਾਜ ਦਾ ਆਕਾਰ, ਪੀਸਣ ਵਾਲਾ ਪਹੀਆ ਬਾਈਂਡਰ, ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਪਹੀਏ ਦੀ ਗਤੀ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗਤੀ, ਪੀਸਣ ਵਾਲੀ ਤਰਲ ਲੇਸ ਅਤੇ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ, ਆਦਿ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਵਾਜਬ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਰੂਟ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰੋ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਉੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਕੁਸ਼ਲਤਾ, ਉੱਚ ਸਤਹ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਘੱਟ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਨਾਲ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ, ਮੋਟਾ ਪੀਸਣ, ਅਰਧ-ਫਾਈਨਿਸ਼ਿੰਗ ਪੀਸਣ, ਫਿਨਿਸ਼ਿੰਗ ਪੀਸਣ, ਸਪਾਰਕ-ਫ੍ਰੀ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਹੌਲੀ ਬੈਕਿੰਗ ਸਮੇਤ ਇੱਕ ਖੰਡਿਤ ਪੀਸਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।