ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (ਸੀਵੀਡੀ) ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਠੋਸ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈਵੇਫਰਇੱਕ ਗੈਸ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੀ ਇੱਕ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ. ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ (ਦਬਾਅ, ਪੂਰਵ) ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਇਸ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਮਾਡਲਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਇਹ ਦੋ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਕਿਹੜੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ?
ਪੀ.ਈ.ਸੀ.ਵੀ.ਡੀ(ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ) ਉਪਕਰਣ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜੋ OX, ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਮੈਟਲ ਗੇਟ, ਅਮੋਰਫਸ ਕਾਰਬਨ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ; LPCVD (ਘੱਟ ਪਾਵਰ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਪੌਲੀ, TEOS ਵਿੱਚ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸਿਧਾਂਤ ਕੀ ਹੈ?
PECVD - ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਅਤੇ CVD ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਨਾਲ ਜੋੜਦੀ ਹੈ। PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਹੇਠ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ (ਭਾਵ, ਨਮੂਨਾ ਟਰੇ) ਦੇ ਕੈਥੋਡ 'ਤੇ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਨੂੰ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਘੱਟ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਜਾਂ ਹੋਰ ਹੀਟਿੰਗ ਯੰਤਰ ਨਮੂਨੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਵਧਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸ ਦੀ ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਗੈਸ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਨਮੂਨੇ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਇੱਕ ਠੋਸ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
LPCVD - ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਵਾਲੇ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (LPCVD) ਨੂੰ ਰਿਐਕਟਰ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਦੇ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਦਬਾਅ ਨੂੰ ਲਗਭਗ 133Pa ਜਾਂ ਇਸ ਤੋਂ ਘੱਟ ਤੱਕ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
ਹਰੇਕ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਕੀ ਹਨ?
PECVD - ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜੋ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਅਤੇ CVD ਨੂੰ ਜੋੜਦੀ ਹੈ: 1) ਘੱਟ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਕਾਰਵਾਈ (ਉਪਕਰਨ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਤੋਂ ਬਚਣਾ); 2) ਤੇਜ਼ ਫਿਲਮ ਵਿਕਾਸ; 3) ਸਾਮੱਗਰੀ, ਓਐਕਸ, ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਮੈਟਲ ਗੇਟ, ਅਮੋਰਫਸ ਕਾਰਬਨ ਸਭ ਵਧ ਸਕਦੇ ਹਨ; 4) ਇੱਕ ਇਨ-ਸੀਟੂ ਨਿਗਰਾਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਹੈ, ਜੋ ਆਇਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ, ਗੈਸ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ, ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੁਆਰਾ ਵਿਅੰਜਨ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
LPCVD - LPCVD ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਬਿਹਤਰ ਸਟੈਪ ਕਵਰੇਜ, ਵਧੀਆ ਰਚਨਾ ਅਤੇ ਬਣਤਰ ਨਿਯੰਤਰਣ, ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦਰ ਅਤੇ ਆਉਟਪੁੱਟ ਹੋਵੇਗੀ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, LPCVD ਨੂੰ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ ਦੀ ਲੋੜ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਇਹ ਕਣਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦੇ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਉੱਚ ਮੁੱਲ-ਵਰਤਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਹੋਰ ਚਰਚਾ ਲਈ ਸਾਨੂੰ ਮਿਲਣ ਲਈ ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਦੇ ਕਿਸੇ ਵੀ ਗਾਹਕ ਦਾ ਸੁਆਗਤ ਕਰੋ!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜੁਲਾਈ-24-2024