SiC ਕੋਟਿੰਗ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD), ਪੂਰਵ-ਅਨੁਮਾਨ ਪਰਿਵਰਤਨ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਛਿੜਕਾਅ, ਆਦਿ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਗਈ ਪਰਤ ਇਕਸਾਰ ਅਤੇ ਸੰਖੇਪ ਹੈ, ਅਤੇ ਚੰਗੀ ਡਿਜ਼ਾਈਨਯੋਗਤਾ ਹੈ। ਮਿਥਾਇਲ ਟ੍ਰਾਈਕਲੋਸੀਲੇਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨਾ। (CHzSiCl3, MTS) ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ, SiC ਕੋਟਿੰਗ ਤਿਆਰ...
ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ