ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (ਪੀਈਸੀਵੀਡੀ) ਦੀ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

1. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਧੀਆਂ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦੀਆਂ ਮੁੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵੈਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (ਪੀਈਸੀਵੀਡੀ) ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਮਦਦ ਨਾਲ ਗੈਸੀ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਵਾਧੇ ਲਈ ਇੱਕ ਨਵੀਂ ਤਕਨੀਕ ਹੈ। ਕਿਉਂਕਿ PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਗੈਸ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਗੈਰ-ਸੰਤੁਲਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਦੇ ਊਰਜਾ ਸਪਲਾਈ ਮੋਡ ਨੂੰ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬਦਲਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਜਦੋਂ PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਵਾਧੇ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਤਿੰਨ ਬੁਨਿਆਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਗੈਰ-ਸੰਤੁਲਨ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨੂੰ ਸੜਨ ਅਤੇ ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਮੂਹਾਂ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ;

ਦੂਜਾ, ਹਰ ਕਿਸਮ ਦੇ ਸਰਗਰਮ ਸਮੂਹ ਫੈਲਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਸਤਹ ਅਤੇ ਕੰਧ 'ਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਰਿਐਕਟੈਂਟਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਸੈਕੰਡਰੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ;

ਅੰਤ ਵਿੱਚ, ਵਿਕਾਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਵਾਲੇ ਸਾਰੇ ਪ੍ਰਕਾਰ ਦੇ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਅਤੇ ਸੈਕੰਡਰੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਉਤਪਾਦਾਂ ਨੂੰ ਸੋਖ ਲਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਦੇ ਨਾਲ ਗੈਸੀ ਅਣੂਆਂ ਦੀ ਮੁੜ ਰਿਲੀਜ਼ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਵਿਧੀ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਬਾਹਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਉਤੇਜਨਾ ਦੇ ਤਹਿਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨੂੰ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ, ਬਾਹਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਵੇਗਿਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਊਰਜਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਗਭਗ 10ev, ਜਾਂ ਇਸ ਤੋਂ ਵੀ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਅਣੂਆਂ ਦੇ ਰਸਾਇਣਕ ਬੰਧਨਾਂ ਨੂੰ ਨਸ਼ਟ ਕਰਨ ਲਈ ਕਾਫੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਅਣੂਆਂ ਦੇ ਅਸਥਿਰ ਟਕਰਾਅ ਦੁਆਰਾ, ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂ ਨਿਰਪੱਖ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਅਣੂ ਉਤਪਾਦ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਜਾਂ ਕੰਪੋਜ਼ ਕੀਤੇ ਜਾਣਗੇ। ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨ ਆਇਨ ਪਰਤ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਵੇਗਿਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਉੱਪਰਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਹੇਠਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਦੇ ਨੇੜੇ ਇੱਕ ਛੋਟੀ ਆਇਨ ਪਰਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਵੀ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਘਟਾਓਣਾ ਵੀ ਕੁਝ ਹੱਦ ਤੱਕ ਆਇਨਾਂ ਦੁਆਰਾ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ, ਸੜਨ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਕੀਤਾ ਨਿਰਪੱਖ ਪਦਾਰਥ ਟਿਊਬ ਦੀਵਾਰ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਫੈਲ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਵਹਿਣ ਅਤੇ ਫੈਲਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਇਹ ਕਣ ਅਤੇ ਸਮੂਹ (ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਨਿਰਪੱਖ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਅਣੂਆਂ ਨੂੰ ਸਮੂਹ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ) ਛੋਟੇ ਔਸਤ ਮੁਕਤ ਮਾਰਗ ਦੇ ਕਾਰਨ ਆਇਨ ਅਣੂ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਅਤੇ ਸਮੂਹ ਅਣੂ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਨਗੇ। ਰਸਾਇਣਕ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਪਦਾਰਥਾਂ (ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਮੂਹ) ਦੇ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸੋਜ਼ਸ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਬਹੁਤ ਸਰਗਰਮ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਉਹਨਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

2. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ

ਕਿਉਂਕਿ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਦਾ ਉਤੇਜਨਾ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਟਕਰਾਅ ਹੈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਮੁਢਲੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਤੇ ਠੋਸ ਸਤਹ ਵਿਚਕਾਰ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਬਹੁਤ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵਿਧੀ ਦਾ ਅਧਿਐਨ ਕਰਨਾ ਵਧੇਰੇ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ. ਹੁਣ ਤੱਕ, ਆਦਰਸ਼ ਗੁਣਾਂ ਵਾਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰਯੋਗਾਂ ਦੁਆਰਾ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਲਈ, ਜੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਵਿਧੀ ਨੂੰ ਡੂੰਘਾਈ ਨਾਲ ਪ੍ਰਗਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀਆਂ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਦੇ ਅਧਾਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਵਧਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਸਿਲੀਕਾਨ-ਆਧਾਰਿਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਖੋਜ ਵਿੱਚ, ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪਤਲੇ ਸਿਲੇਨ (SiH4) ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਵਜੋਂ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਦੀ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਮਾਤਰਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ H ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਭੌਤਿਕ ਢਾਂਚੇ ਵਿੱਚ ਲਟਕਣ ਵਾਲੇ ਬਾਂਡਾਂ ਨੂੰ ਭਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਨੁਕਸ ਊਰਜਾ ਦੇ ਪੱਧਰ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਵਾਲੈਂਸ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਮਹਿਸੂਸ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਬਰਛੇ ਐਟ ਅਲ. ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਡੋਪਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਮਹਿਸੂਸ ਕੀਤਾ ਅਤੇ ਵਿੱਚ ਪਹਿਲਾ PN ਜੰਕਸ਼ਨ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ, PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਸਿਲਿਕਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਅਤੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ 'ਤੇ ਖੋਜ ਨੂੰ ਛਲਾਂਗ ਅਤੇ ਸੀਮਾਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦਾ ਵਰਣਨ ਅਤੇ ਚਰਚਾ ਕੀਤੀ ਜਾਵੇਗੀ।

ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਸਥਿਤੀ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਕਿਉਂਕਿ ਸਿਲੇਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਵਿੱਚ ਕਈ EV ਊਰਜਾ ਹਨ, H2 ਅਤੇ SiH4 ਜਦੋਂ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਉਹ ਸੜ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਅਸੀਂ ਵਿਚਕਾਰਲੀ ਉਤਸੁਕ ਅਵਸਥਾਵਾਂ ਨੂੰ ਨਹੀਂ ਸਮਝਦੇ ਹਾਂ, ਤਾਂ ਅਸੀਂ H ਨਾਲ ਸਿਹਮ (M = 0,1,2,3) ਦੀਆਂ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਵਿਘਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ।

e+SiH4→SiH2+H2+e (2.1)

e+SiH4→SiH3+ H+e (2.2)

e+SiH4→Si+2H2+e (2.3)

e+SiH4→SiH+H2+H+e (2.4)

e+H2→2H+e (2.5)

ਜ਼ਮੀਨੀ ਅਵਸਥਾ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਮਿਆਰੀ ਤਾਪ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਉਪਰੋਕਤ ਡਿਸਸੋਸੀਏਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ (2.1) ~ (2.5) ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀਆਂ ਊਰਜਾਵਾਂ ਕ੍ਰਮਵਾਰ 2.1, 4.1, 4.4, 5.9 EV ਅਤੇ 4.5 EV ਹਨ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਵੀ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦੇ ਹਨ

e+SiH4→SiH2++H2+2e (2.6)

e+SiH4→SiH3++ H+2e (2.7)

e+SiH4→Si++2H2+2e (2.8)

e+SiH4→SiH++H2+H+2e (2.9)

(2.6) ~ (2.9) ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਊਰਜਾ ਕ੍ਰਮਵਾਰ 11.9, 12.3, 13.6 ਅਤੇ 15.3 EV ਹੈ। ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਊਰਜਾ ਦੇ ਅੰਤਰ ਦੇ ਕਾਰਨ, (2.1) ~ (2.9) ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਬਹੁਤ ਅਸਮਾਨ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ (2.1) ~ (2.5) ਦੇ ਨਾਲ ਬਣਿਆ ਸਿਹਮ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਸੈਕੰਡਰੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰੇਗਾ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ

SiH+e→SiH++2e (2.10)

SiH2+e→SiH2++2e (2.11)

SiH3+e→SiH3++2e (2.12)

ਜੇਕਰ ਉਪਰੋਕਤ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਲੋੜੀਂਦੀ ਊਰਜਾ ਲਗਭਗ 12 eV ਜਾਂ ਵੱਧ ਹੈ। ਇਸ ਤੱਥ ਦੇ ਮੱਦੇਨਜ਼ਰ ਕਿ 1010cm-3 ਦੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਕਮਜ਼ੋਰ ionized ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ 10ev ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੀ ਸੰਖਿਆ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੇ ਦਬਾਅ (10-100pa) ਦੇ ਅਧੀਨ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਘੱਟ ਹੈ, ਸੰਚਤ ਹੈ। ionization ਸੰਭਾਵਨਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉਤੇਜਨਾ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨਾਲੋਂ ਛੋਟੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸਿਲੇਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਉਪਰੋਕਤ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦਾ ਅਨੁਪਾਤ ਬਹੁਤ ਛੋਟਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਿਹਮ ਦਾ ਨਿਰਪੱਖ ਸਮੂਹ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਹੈ। ਪੁੰਜ ਸਪੈਕਟ੍ਰਮ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵੀ ਇਸ ਸਿੱਟੇ ਨੂੰ ਸਾਬਤ ਕਰਦੇ ਹਨ [8]। Bourquard et al. ਅੱਗੇ ਦੱਸਿਆ ਕਿ ਸਿਹਮ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ sih3, sih2, Si ਅਤੇ SIH ਦੇ ਕ੍ਰਮ ਵਿੱਚ ਘਟੀ ਹੈ, ਪਰ SiH3 ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ SIH ਨਾਲੋਂ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਿੰਨ ਗੁਣਾ ਸੀ। ਰੌਬਰਟਸਨ ਐਟ ਅਲ. ਨੇ ਰਿਪੋਰਟ ਕੀਤੀ ਕਿ ਸਿਹਮ ਦੇ ਨਿਰਪੱਖ ਉਤਪਾਦਾਂ ਵਿੱਚ, ਸ਼ੁੱਧ ਸਿਲੇਨ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਪਾਵਰ ਡਿਸਚਾਰਜ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਸੀ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਸੀਹ3 ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੱਟ-ਪਾਵਰ ਡਿਸਚਾਰਜ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਸੀ। ਉੱਚ ਤੋਂ ਨੀਵੇਂ ਤੱਕ ਇਕਾਗਰਤਾ ਦਾ ਕ੍ਰਮ SiH3, SiH, Si, SiH2 ਸੀ। ਇਸ ਲਈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡ ਸਿਹਮ ਨਿਰਪੱਖ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਰਚਨਾ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ.

ਉਪਰੋਕਤ ਡਿਸਸੋਸਿਏਸ਼ਨ ਅਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਆਇਓਨਿਕ ਅਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਸੈਕੰਡਰੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਵੀ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਨ

SiH2＋+SiH4→SiH3++SiH3 (2.13)

ਇਸ ਲਈ, ਆਇਨ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, sih3 + sih2 + ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੈ। ਇਹ ਦੱਸ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ SiH4 ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ sih2 + ਆਇਨਾਂ ਨਾਲੋਂ sih3 + ਆਇਨ ਜ਼ਿਆਦਾ ਕਿਉਂ ਹਨ।

ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਇੱਕ ਅਣੂ ਪਰਮਾਣੂ ਟਕਰਾਅ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਹੋਵੇਗੀ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪਰਮਾਣੂ SiH4 ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਹਾਸਲ ਕਰਦੇ ਹਨ।

H+ SiH4→ SiH3+H2 (2.14)

ਇਹ ਇੱਕ ਐਕਸੋਥਰਮਿਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਹੈ ਅਤੇ si2h6 ਦੇ ਗਠਨ ਲਈ ਇੱਕ ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਹੈ। ਬੇਸ਼ੱਕ, ਇਹ ਸਮੂਹ ਨਾ ਸਿਰਫ ਜ਼ਮੀਨੀ ਰਾਜ ਵਿੱਚ ਹਨ, ਸਗੋਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਵੀ ਉਤਸਾਹਿਤ ਰਾਜ ਨੂੰ ਉਤਸ਼ਾਹਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ. ਸਿਲੇਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦਾ ਨਿਕਾਸ ਸਪੈਕਟਰਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ Si, SIH, h, ਅਤੇ SiH2, SiH3 ਦੀਆਂ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨਲ ਐਕਸਾਈਟਿਡ ਅਵਸਥਾਵਾਂ ਦੀਆਂ ਆਪਟੀਕਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਵੀਕਾਰਯੋਗ ਪਰਿਵਰਤਨ ਉਤਸਾਹਿਤ ਅਵਸਥਾਵਾਂ ਹਨ।