VET ਐਨਰਜੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰ PECVD (ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਇੱਕ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਕੈਰੀਅਰ ਹੈ। ਇਹ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲਾ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਧਾਰਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਹੋਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ। ਇਹ PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਸਮਰਥਨ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
VET Energy PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਵੇਫਰ ਸਪੋਰਟ ਟੇਬਲ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ:
▪ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ:ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਮੱਗਰੀ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਤੋਂ ਬਚੋ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ।
▪ਉੱਚ ਘਣਤਾ:ਉੱਚ ਘਣਤਾ, ਉੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਦਬਾਅ PECVD ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਸਾਮ੍ਹਣਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ.
▪ਚੰਗੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ:ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਛੋਟਾ ਆਯਾਮੀ ਬਦਲਾਅ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
▪ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ:ਵੇਫਰ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਲਈ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਗਰਮੀ ਦਾ ਤਬਾਦਲਾ ਕਰੋ।
▪ਮਜ਼ਬੂਤ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ:ਵੱਖ-ਵੱਖ ਖੋਰ ਗੈਸਾਂ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੁਆਰਾ ਕਟੌਤੀ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
▪ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਸੇਵਾ:ਵੱਖ-ਵੱਖ ਅਕਾਰ ਅਤੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਸਹਾਇਤਾ ਟੇਬਲ ਗਾਹਕ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਅਨੁਸਾਰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ.
ਉਤਪਾਦ ਦੇ ਫਾਇਦੇ
▪ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ:ਯੂਨੀਫਾਰਮ ਫਿਲਮ ਡਿਪਾਜ਼ਿਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ।
▪ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਉਮਰ ਵਧਾਓ:ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, PECVD ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਓ.
▪ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਲਾਗਤ ਘਟਾਓ:ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਟ੍ਰੇ ਸਕ੍ਰੈਪ ਦੀ ਦਰ ਨੂੰ ਘਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀਆਂ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।
SGL ਤੋਂ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ:
| ਆਮ ਪੈਰਾਮੀਟਰ: R6510 | |||
| ਸੂਚਕਾਂਕ | ਟੈਸਟ ਸਟੈਂਡਰਡ | ਮੁੱਲ | ਯੂਨਿਟ |
| ਔਸਤ ਅਨਾਜ ਦਾ ਆਕਾਰ | ISO 13320 | 10 | μm |
| ਬਲਕ ਘਣਤਾ | DIN IEC 60413/204 | 1. 83 | g/cm3 |
| ਖੁੱਲ੍ਹੀ porosity | DIN66133 | 10 | % |
| ਮੱਧਮ ਪੋਰ ਆਕਾਰ | DIN66133 | 1.8 | μm |
| ਪਾਰਦਰਸ਼ੀਤਾ | ਡੀਆਈਐਨ 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ਰੌਕਵੈਲ ਕਠੋਰਤਾ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ਖਾਸ ਬਿਜਲੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਾਕਤ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ਯੰਗ ਦਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | ਡੀਆਈਐਨ 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਾਲੇ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, G12 ਵੱਡੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੈਰੀਅਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਥ੍ਰੁਪੁੱਟ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਉੱਚ ਉਪਜ ਦਰਾਂ ਅਤੇ ਘੱਟ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
| ਆਈਟਮ | ਟਾਈਪ ਕਰੋ | ਨੰਬਰ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ |
| PEVCD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ - 156 ਲੜੀ | 156-13 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 144 |
| 156-19 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 216 | |
| 156-21 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 240 | |
| 156-23 ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 308 | |
| PEVCD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ - 125 ਲੜੀ | 125-15 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 196 |
| 125-19 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 252 | |
| 125-21 ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 280 |
