CMP ର ପ୍ଲାନାରାଇଜେସନ୍ କ mechanism ଶଳ କ’ଣ?

ଡୁଆଲ୍-ଦାମାସେନ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଏହା ଦମକଳ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପରବର୍ତ୍ତୀ ବିକାଶ | ସମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପରେ ଏକ ସମୟରେ ଛିଦ୍ର ଏବଂ ଖୋଳା ମାଧ୍ୟମରେ ଗଠନ କରି ସେମାନଙ୍କୁ ଧାତୁରେ ଭରିବା ଦ୍ୱାରା ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗଗୁଡ଼ିକର ସମନ୍ୱିତ ଉତ୍ପାଦନ ହୃଦୟଙ୍ଗମ ହୁଏ |

CMP (1)

 

ଏହାକୁ ଦମ୍ମେସକ କାହିଁକି କୁହାଯାଏ?


ଦମ୍ମେସକ ସହର ହେଉଛି ସିରିଆର ରାଜଧାନୀ ଏବଂ ଦମ୍ମେସକ ଖଣ୍ଡାଗୁଡ଼ିକ ସେମାନଙ୍କର ତୀକ୍ଷ୍ଣତା ଏବଂ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଗଠନ ପାଇଁ ପ୍ରସିଦ୍ଧ | ଏକ ପ୍ରକାର ଇନଲେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ: ପ୍ରଥମେ, ଆବଶ୍ୟକୀୟ pattern ାଞ୍ଚା ଦମ୍ମେସକ ଇସ୍ପାତ ପୃଷ୍ଠରେ ଖୋଦିତ ହୋଇଛି, ଏବଂ ପୂର୍ବରୁ ପ୍ରସ୍ତୁତ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ଖୋଦିତ ଖୋଳାଗୁଡ଼ିକରେ ଦୃ ly ଭାବରେ ଆବୃତ ହୋଇଛି | ଇନଲେ ସମାପ୍ତ ହେବା ପରେ, ଭୂପୃଷ୍ଠ ଟିକିଏ ଅସମାନ ହୋଇପାରେ | ସାମଗ୍ରିକ ସୁଗମତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ କାରିଗର ଏହାକୁ ଯତ୍ନର ସହିତ ପଲିସ୍ କରିବେ | ଏବଂ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ହେଉଛି ଚିପ୍ ର ଡୁଆଲ୍ ଦମକଳ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପ୍ରୋଟୋଟାଇପ୍ | ପ୍ରଥମେ, ଗ୍ରୀଭ୍ କିମ୍ବା ଛିଦ୍ରଗୁଡିକ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ଖୋଦିତ ହୁଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ ସେଥିରେ ଧାତୁ ଭରାଯାଏ | ଭରିବା ପରେ, ଅତିରିକ୍ତ ଧାତୁକୁ cmp ଦ୍ୱାରା ବାହାର କରାଯିବ |

 CMP (1)

 

ଡୁଆଲ୍ ଡ୍ୟାମାସେନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ମୁଖ୍ୟ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

 

ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରର ଜମା:


ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରରେ ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ (SiO2) ପରି ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ପଦାର୍ଥର ଏକ ସ୍ତର ଜମା କରନ୍ତୁ |ୱେଫର୍.

 

The ାଞ୍ଚାକୁ ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିବାକୁ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି:


ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ଭିଆସ୍ ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚର pattern ାଞ୍ଚାକୁ ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିବାକୁ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ |

 

ଏଚଚିଂ:


ଏକ ଶୁଖିଲା କିମ୍ବା ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ଡିଆଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରକୁ ଭିଆସ୍ ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚର pattern ାଞ୍ଚା ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରନ୍ତୁ |

 

Metal ଧାତୁର ଜମା:


ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ଗଠନ ପାଇଁ ଭିଆସ୍ ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚରେ ତମ୍ବା (Cu) କିମ୍ବା ଆଲୁମିନିୟମ୍ (ଅଲ୍) ପରି ଧାତୁ ଜମା କରନ୍ତୁ |

 

▪ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ:


ଅତ୍ୟଧିକ ଧାତୁକୁ ବାହାର କରିବା ଏବଂ ଭୂପୃଷ୍ଠକୁ ଚଟାଇବା ପାଇଁ ଧାତୁ ପୃଷ୍ଠର ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ |

 

 

ପାରମ୍ପାରିକ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ତୁଳନା କଲେ, ଡୁଆଲ୍ ଡ୍ୟାମାସେନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି:

ସରଳୀକୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପ:ସମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଏକକାଳୀନ ଭିଆସ୍ ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚ ଗଠନ କରି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ସମୟ ହ୍ରାସ ହୁଏ |

ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା:ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକର ହ୍ରାସ ହେତୁ, ଡୁଆଲ୍ ଡ୍ୟାମାସେନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ |

Metal ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରନ୍ତୁ:ଡୁଆଲ୍ ଡ୍ୟାମାସେନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ହାସଲ କରିପାରିବ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ସର୍କିଟ୍ ର ଏକୀକରଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବ |

ପରଜୀବୀ କ୍ଷମତା ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:ଲୋ-କେ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଏବଂ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗର ସଂରଚନାକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରି, ପରଜୀବୀ କ୍ୟାପିଟାନ୍ସ ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ, ସର୍କିଟ୍ ର ଗତି ଏବଂ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର କାର୍ଯ୍ୟରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବ |


ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର -25-2024 |
ହ୍ ats ାଟସ୍ ଆପ୍ ଅନଲାଇନ୍ ଚାଟ୍!