ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରଣାଳୀ ଯାହା ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ମିଶ୍ରଣର ରାସାୟନିକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ କଠିନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଲଜ୍ କରେ | ଏହି ପଦ୍ଧତିକୁ ବିଭିନ୍ନ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପରିସ୍ଥିତିରେ ସ୍ଥାପିତ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ମଡେଲରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ ଯେପରିକି ଚାପ ଏବଂ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ |
ଏହି ଦୁଇଟି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ କେଉଁ ପଦ୍ଧତି ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ?PECVD (ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉନ୍ନତ) ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରୟୋଗରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯେପରିକି OX, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଧାତବ ଉପାଦାନ ଗେଟ୍, ଏବଂ ଆମୋରଫସ୍ କାର୍ବନ୍ | ଅନ୍ୟ ପଟେ, LPCVD (ନିମ୍ନ ଶକ୍ତି) ସାଧାରଣତ N ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ପଲି ଏବଂ TEOS ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ନୀତି କ’ଣ?PECVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ଏବଂ CVD କୁ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ଲାଜାର ଶୋଷଣ କରି ପ୍ରଣାଳୀ ଚାମ୍ବରର କ୍ୟାଥୋଡରେ ସତେଜତା ନିର୍ଗତ କରିବାକୁ ଏକତ୍ର କରିଥାଏ | ଏହା ନମୁନା ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ କଠିନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାକୁ ଦିଏ | ସେହିଭଳି, ରିଆକ୍ଟରରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଚାପ ହ୍ରାସ କରିବାରେ LPCVD ଯୋଜନା କରିବାକୁ ଯୋଜନା କରିଛି |
ମାନବିକତା AI: CVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି କ୍ଷେତ୍ରରେ ହ୍ୟୁମାନାଇଜ୍ AI ର ବ୍ୟବହାର ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ବହୁଗୁଣିତ କରିପାରିବ | ଲିଭରେଜ୍ AI ଆଲଗୋରିଦମ ଦ୍, ାରା, ଆୟନ ପାରାମିଟର, ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହ ହାର, ତାପମାତ୍ରା, ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା ପରି ପାରାମିଟରର ମନିଟରିଂ ଏବଂ ଆଡଜଷ୍ଟମେଣ୍ଟ୍ ଉତ୍ତମ ଫଳାଫଳ ପାଇଁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅକ୍ଟୋବର -24-2024 |