ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କ୍ଷେତ୍ରରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସର ପ୍ରୟୋଗ |

ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନଗୁଡିକର ସଠିକ ଅଂଶ ପାଇଁ ପସନ୍ଦିତ ସାମଗ୍ରୀ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କ୍ଷେତ୍ରରେ,ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ |ସାମଗ୍ରୀଗୁଡିକ ମୁଖ୍ୟତ integr ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ପ୍ରମୁଖ ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱର୍କଟେବଲ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍,ପ୍ରତିଫଳକ, ସେରାମିକ୍ ଚୋପା ଚକ୍ |ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ ବାହୁ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ, ଫିକ୍ଚର୍ ଇତ୍ୟାଦି |

ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଅଂଶ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ |

● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ | ଯଦି ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ କାଷ୍ଟ ଲୁହା କିମ୍ବା ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ଇସ୍ପାତରେ ନିର୍ମିତ ହୁଏ, ତେବେ ଏହାର ସେବା ଜୀବନ ସ୍ୱଳ୍ପ ଏବଂ ଏହାର ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ ବଡ଼ | ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ, ବିଶେଷତ high ହାଇ ସ୍ପିଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କିମ୍ବା ପଲିସିଂ ସମୟରେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କର ପରିଧାନ ଏବଂ ତାପଜ ବିକୃତି ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ର ସମତଳତା ଏବଂ ସମାନ୍ତରାଳତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ | ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସରେ ନିର୍ମିତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କରେ ଅଧିକ କଠିନତା ଏବଂ କମ୍ ପରିଧାନ ଅଛି, ଏବଂ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟଟି ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ସହିତ ସମାନ, ତେଣୁ ଏହା ଭୂମିରେ ରହି ଉଚ୍ଚ ବେଗରେ ପଲିସ୍ ହୋଇପାରେ |
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଫିକ୍ଚର୍ | ଏହା ସହିତ, ଯେତେବେଳେ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ଉତ୍ପାଦନ ହୁଏ, ସେତେବେଳେ ସେମାନଙ୍କୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଉତ୍ତାପ ଚିକିତ୍ସା କରିବାକୁ ପଡେ ଏବଂ ପ୍ରାୟତ sil ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଫିକ୍ଚର୍ ବ୍ୟବହାର କରି ପରିବହନ କରାଯାଏ | ସେଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ତାପ-ପ୍ରତିରୋଧକ ଏବଂ ବିନାଶକାରୀ | କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ବ enhance ାଇବା, ୱେଫର କ୍ଷତି ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ବିସ୍ତାର ନକରିବା ପାଇଁ ହୀରା ପରି କାର୍ବନ (DLC) ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରେ |
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱର୍କଟେବଲ୍ | ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ୱର୍କଟେବଲ୍କୁ ଏକ ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ଗ୍ରହଣ କରି, ୱର୍କଟେବଲ୍ ମୁଖ୍ୟତ the ଏକ୍ସପୋଜର ଗତିବିଧି ପାଇଁ ଦାୟୀ, ଉଚ୍ଚ-ଗତି, ବଡ଼-ଷ୍ଟ୍ରୋକ, ଛଅ-ଡ଼ିଗ୍ରୀ-ସ୍ freedom ାଧୀନତା ନାନୋ-ସ୍ତରୀୟ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ସଠିକତା ଗତି ଆବଶ୍ୟକ କରେ | ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 100nm ରେଜୋଲୁସନ ସହିତ ଏକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ, 33nm ର ଏକ ଓଭରଲେ ସଠିକତା, ଏବଂ 10nm ର ଲାଇନ୍ ଓସାର, 10nm ରେ ପହଞ୍ଚିବା ପାଇଁ ୱର୍କଟେବଲ୍ ପୋଜିସନ୍ ସଠିକତା ଆବଶ୍ୟକ, ମାସ୍କ-ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଏକକାଳୀନ ଷ୍ଟେପ୍ ଏବଂ ସ୍କାନିଂ ସ୍ପିଡ୍ 150nm / s ଅଟେ | ଏବଂ ଯଥାକ୍ରମେ 120nm / s, ଏବଂ ମାସ୍କ ସ୍କାନିଂ ବେଗ 500nm / s ପାଖାପାଖି, ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ଅତ୍ୟଧିକ ଗତିର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ |

କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋ-ମୋସନ୍ ଟେବୁଲର ସ୍କିମେଟିକ୍ ଚିତ୍ର (ଆଂଶିକ ବିଭାଗ)

● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ବର୍ଗ ଦର୍ପଣ | କି ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଯନ୍ତ୍ରପାତିଗୁଡ଼ିକରେ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଯେପରିକି ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ଗୁଡ଼ିକରେ ଜଟିଳ ଆକୃତି, ଜଟିଳ ଆକାର, ଏବଂ ହାଲ୍ ହାଲୁକା ସଂରଚନା ଅଛି, ଯାହା ଏହିପରି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡିକ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ | ସମ୍ପ୍ରତି, ମୁଖ୍ୟ ସ୍ରୋତ ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ନିର୍ମାତା ଯେପରିକି ନେଦରଲ୍ୟାଣ୍ଡରେ ASML, ଜାପାନରେ ନିକୋନ୍ ଏବଂ କାନନ୍, ବହୁ ପରିମାଣର ସାମଗ୍ରୀ ଯେପରିକି ମାଇକ୍ରୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ କର୍ଡିଆରାଇଟ୍ ବର୍ଗ ଦର୍ପଣ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ମୂଳ ଉପାଦାନ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି | ସରଳ ଆକୃତି ସହିତ ଅନ୍ୟ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଗଠନମୂଳକ ଉପାଦାନଗୁଡିକ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାକୁ ସେରାମିକ୍ସ | ତଥାପି, ଚାଇନା ବିଲଡିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନର ବିଶେଷଜ୍ଞମାନେ ବଡ଼ ଆକାରର, ଜଟିଳ ଆକୃତିର, ଅତ୍ୟଧିକ ହାଲୁକା, ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବଦ୍ଧ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ବର୍ଗ ଦର୍ପଣ ଏବଂ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗଠନମୂଳକ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡିକର ପ୍ରସ୍ତୁତି ହାସଲ କରିବାକୁ ମାଲିକାନା ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିକୁ ବ୍ୟବହାର କରିଛନ୍ତି |