VET ଶକ୍ତି |PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାହକ ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଉପଯୋଗୀ PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତୁତ | ଏହି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାହକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ନିର୍ମିତ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ, ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ସମାନତା ଏବଂ ସମତଳତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ବାହକ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ | ଜମା
PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାହକମାନଙ୍କର ନିମ୍ନଲିଖିତ ଗୁଣ ଅଛି:
▪ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା: ଅତ୍ୟଧିକ କମ୍ ଅପରିଷ୍କାର ବିଷୟବସ୍ତୁ, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଏଡ଼ାଇବା ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା |
▪ ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା: ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚାପ PECVD ପରିବେଶକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ |
▪ ଭଲ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା: ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଛୋଟ ଆକାରର ପରିବର୍ତ୍ତନ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ |
▪ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ଚାଳନା: ୱେଫର୍ ଅତ୍ୟଧିକ ଗରମକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉତ୍ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରନ୍ତୁ |
▪ ଶକ୍ତିଶାଳୀ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ଦ୍ୱାରା କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ |
କଷ୍ଟୋମାଇଜ୍ ସେବା: ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ବିଭିନ୍ନ ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତିର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବାହକ କଷ୍ଟୋମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |
SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:
ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510 | |||
ସୂଚକାଙ୍କ | ପରୀକ୍ଷା ମାନକ | ମୂଲ୍ୟ | ୟୁନିଟ୍ |
ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର | | ISO 13320 | ୧୦ | μm |
ବଲ୍କ ଘନତା | | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g / cm3 |
ଖୋଲା ଖୋଲାତା | | DIN66133 | ୧୦ | % |
ମଧ୍ୟମ ପୋର ଆକାର | | DIN66133 | 1.8 | μm |
ଅନୁମତି | DIN 51935 | 0.06 | cm² / s |
ରକୱେଲ କଠିନତା HR5 / 100 | | DIN IEC60413 / 303 | 90 | HR |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ electrical ଦୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | | DIN 51910 | 130 | MPa |
ୟଙ୍ଗର ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
ତାପଜ ବିସ୍ତାର (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ଏହା G12 ବୃହତ ଆକାରର ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରି ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସ ar ର ସେଲ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି | ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୋପପୁଟକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ, ଅଧିକ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |
ଆଇଟମ୍ | | ଟାଇପ୍ କରନ୍ତୁ | | ନମ୍ବର ୱେଫର୍ ବାହକ | |
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 156 ସିରିଜ୍ | | 156-13 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 144 |
156-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 216 | |
156-21 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 240 | |
156-23 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 308 | |
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ | | 125-15 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | ୧ 66 |
125-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 252 | |
125-21 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 280 |