ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଏପି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର୍ |

ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଏପି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର୍ |

ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଏପି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର୍ |ଡିପୋଜିସନ କିମ୍ବା ଏପିଟାକ୍ସି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରି ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଧରି ରଖିବା ଏବଂ ଉତ୍ତାପ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଡିଜାଇନ୍ ସମର୍ଥନ ଏବଂ ଗରମ ଉପକରଣ |

ଏହାର ସଂରଚନାରେ ସାଧାରଣତ c ସିଲିଣ୍ଡ୍ରିକ୍ କିମ୍ବା ସାମାନ୍ୟ ବ୍ୟାରେଲ୍ ଆକୃତି ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ ହୋଇଛି, ୱାଫର୍ ରଖିବା ପାଇଁ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଏକାଧିକ ପକେଟ୍ କିମ୍ବା ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି, ଗରମ ପଦ୍ଧତି ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି କଠିନ କିମ୍ବା ଖାଲି ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇପାରେ |

ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟରର ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଗୁଡ଼ିକ:

-ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସମର୍ଥନ: ସୁରକ୍ଷିତ ଭାବରେ ଏକାଧିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱାଫର୍ ଧରିଥାଏ;
- ଉତ୍ତାପ ଉତ୍ସ: ଗରମ ମାଧ୍ୟମରେ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଯୋଗାଏ |
-ତାପମାତ୍ରା ସମାନତା: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟଗୁଡିକର ସମାନ ଗରମ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ;
-ରୋଟେସନ୍: ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ବଣ୍ଟନ ସମାନତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣତ growth ଅଭିବୃଦ୍ଧି ସମୟରେ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ କରେ |

ଏପି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟରର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି:
- ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ରିଆକ୍ଟରରେ, ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର ଆବଶ୍ୟକ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉତ୍ତାପ ହୁଏ (ସାଧାରଣତ sil ସିଲିକନ୍ ଏପିଟାକ୍ସି ପାଇଁ 1000 ℃ -1200));
- ସମାନ ତାପମାତ୍ରା ବଣ୍ଟନ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ କରେ |
- ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ କ୍ଷୟ ହୋଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ଗଠନ କରେ |

ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ:
- ସିଲିକନ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
GaAs, InP, ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ୟ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀର ଏପିଟାକ୍ସି ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ |

ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା ବ to ାଇବା ପାଇଁ VET ଶକ୍ତି CVD-SiC ଆବରଣ ସହିତ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ:

VET ଶକ୍ତି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଏପି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟରର ସୁବିଧା:

- ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା;
- ଭଲ ତାପଜ ସମାନତା;
- ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରି ଏକକାଳୀନ ଏକାଧିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିପାରିବ;
-କେମିକାଲ୍ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପରିବେଶ ବଜାୟ ରଖିବା |