ଉନ୍ନତSiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ପ୍ୟାଡଲ୍ |ଭେଟ-ଚିନା ଦ୍ୱାରା ନିର୍ମିତ ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ | ଏହି କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ପ୍ୟାଡଲ୍ ସିସି (ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍) ପଦାର୍ଥରେ ନିର୍ମିତ, ଏବଂ ଏହାର ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ଏବଂ ଉତ୍ତାପ ପ୍ରତିରୋଧ ଏହାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ପରିବେଶରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିବାରେ ସକ୍ଷମ କରେ | କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ପ୍ୟାଡଲର ଡିଜାଇନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ୱେଫରକୁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ ସମର୍ଥନ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ, ଯାହା ଖଣ୍ଡବିଖଣ୍ଡନ ଏବଂ କ୍ଷତି ହେବାର ଆଶଙ୍କା ହ୍ରାସ କରିଥାଏ |
SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ପ୍ୟାଡଲ୍ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ବିଶେଷ ଉପାଦାନ ଯେପରିକି ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ଏବଂ ଆନ୍ଲିଙ୍ଗ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ମୁଖ୍ୟ ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ୱେଫର୍ ଲୋଡିଂ ଏବଂ ଅନଲୋଡିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱାଫର୍ ସମର୍ଥନ ଏବଂ ପରିବହନ |
ସାଧାରଣ ଗଠନରSiCcଆଣ୍ଟିଲିଭର |pଆଡଲେ |: ଏକ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ଗଠନ, ଗୋଟିଏ ମୁଣ୍ଡରେ ସ୍ଥିର ଏବଂ ଅନ୍ୟ ପଟେ ମାଗଣା, ସାଧାରଣତ a ଏକ ଫ୍ଲାଟ ଏବଂ ପ୍ୟାଡଲ୍ ପରି ଡିଜାଇନ୍ ଥାଏ |
ଗୁଣବତ୍ତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦେବା ପାଇଁ VET ଶକ୍ତି ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ପୁନ ry ସ୍ଥାପିତ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରେ |
| ପୁନ ry ସ୍ଥାପିତ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ର ଭ Phys ତିକ ଗୁଣ | | |
| ସମ୍ପତ୍ତି | ସାଧାରଣ ମୂଲ୍ୟ |
| କାର୍ଯ୍ୟର ତାପମାତ୍ରା (° C) | 1600 ° C (ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ), 1700 ° C (ପରିବେଶ ହ୍ରାସ) |
| SiC ବିଷୟବସ୍ତୁ | | > 99.96% |
| ମାଗଣା ସି ବିଷୟବସ୍ତୁ | | <0.1% |
| ବଲ୍କ ଘନତା | | 2.60-2.70 g / cm3 |
| ଦୃଶ୍ୟମାନ | <16% |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | | > 600MPa |
| ଥଣ୍ଡା ନମ୍ର ଶକ୍ତି | | 80-90 MPa (20 ° C) |
| ଗରମ ନମ୍ର ଶକ୍ତି | | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର @ 1500 ° C | 4.70 10-6/ ° C |
| ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି @ 1200 ° C | | 23W / m • K। |
| ଇଲଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | | 240 GPa |
| ଥର୍ମାଲ୍ ଶକ୍ ପ୍ରତିରୋଧ | | ଅତ୍ୟନ୍ତ ଭଲ | |
ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ VET ଏନର୍ଜିର ଆଡଭାନ୍ସଡ ସିସି କ୍ୟାଣ୍ଟିଲାଇଭର ପ୍ୟାଡଲର ସୁବିଧା ହେଉଛି:
- ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା: 1600 ° C ରୁ ଅଧିକ ପରିବେଶରେ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ;
ନିମ୍ନ ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ୍: ଡାଇମେନ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ, ୱେଫର୍ ୱାର୍ପେଜ୍ ବିପଦକୁ ହ୍ରାସ କରେ |
- ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା: ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣର କମ୍ ବିପଦ;
-କେମିକାଲ୍ ନିଷ୍କ୍ରିୟତା: କ୍ଷୟ-ପ୍ରତିରୋଧକ, ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ;
- ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଏବଂ କଠିନତା: ପୋଷାକ-ପ୍ରତିରୋଧୀ, ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ;
- ଭଲ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି: ୟୁନିଫର୍ମ ୱେଫର୍ ଗରମ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ |
