Dual-Damascene ndiukadaulo waukadaulo womwe umagwiritsidwa ntchito popanga zolumikizira zitsulo m'mabwalo ophatikizika. Ndi chitukuko chinanso cha njira ya Damasiko. Mwa kupanga kudzera m'mabowo ndi grooves pa nthawi yomweyo mu sitepe yomweyo ndondomeko ndi kuwadzaza ndi zitsulo, Integrated kupanga zitsulo interconnects anazindikira.
N’chifukwa chiyani ukutchedwa Damasiko?
Mzinda wa Damasiko ndi likulu la dziko la Suriya, ndipo malupanga a Damasiko ndi otchuka chifukwa cha kuthwa kwake komanso maonekedwe ake okongola. Mtundu wa inlay ndondomeko ikufunika: choyamba, ndondomeko yofunikira imalembedwa pamwamba pa zitsulo za Damasiko, ndipo zipangizo zokonzedweratu zimayikidwa mwamphamvu muzitsulo zojambulidwa. Kuyikako kukamalizidwa, pamwamba pake pakhoza kukhala kusiyana pang'ono. Mmisiri adzaipukuta mosamala kuti iwonetsetse kuti ikhale yosalala. Ndipo njirayi ndi chitsanzo cha njira ziwiri za Damasiko za chip. Choyamba, ma grooves kapena mabowo amalembedwa mu dielectric wosanjikiza, ndiyeno zitsulo zimadzazidwa mmenemo. Pambuyo podzaza, chitsulo chowonjezera chidzachotsedwa ndi cmp.
Njira zazikulu za njira ziwiri za damascene ndi izi:
▪ Kuyika kwa dielectric layer:
Ikani gawo la zinthu za dielectric, monga silicon dioxide (SiO2), pa semiconductor.mtanda.
▪ Photolithography kufotokoza ndondomeko:
Gwiritsani ntchito fotolithography kutanthauzira mawonekedwe a vias ndi ngalande pa dielectric wosanjikiza.
▪Etching:
Kusamutsa chitsanzo cha vias ndi ngalande kwa dielectric wosanjikiza kudzera youma kapena yonyowa etching ndondomeko.
▪ Kuyika zitsulo:
Deposit zitsulo, monga mkuwa (Cu) kapena aluminiyamu (Al), mu vias ndi ngalande kupanga zitsulo interconnects.
▪ Kupukuta ndi makina a Chemical:
Chemical makina kupukuta zitsulo pamwamba kuchotsa zitsulo owonjezera ndi flatten pamwamba.
Poyerekeza ndi njira yopangira zitsulo zolumikizirana zitsulo, njira yapawiri ya damascene ili ndi izi:
▪ Njira Zosavuta:mwa kupanga vias ndi ngalande imodzi mu sitepe yomweyo ndondomeko, ndondomeko masitepe ndi kupanga nthawi yafupika.
▪Kupititsa patsogolo luso lopanga zinthu:chifukwa cha kuchepetsedwa kwa masitepe, njira yapawiri ya damascene imatha kupititsa patsogolo kupanga komanso kuchepetsa ndalama zopangira.
▪Kupititsa patsogolo magwiridwe antchito a zitsulo zolumikizirana:njira yapawiri ya damascene imatha kukwaniritsa kulumikizana kwachitsulo kocheperako, potero kumapangitsa kuphatikizika ndi magwiridwe antchito a mabwalo.
▪Kuchepetsa mphamvu ya parasitic ndi kukana:pogwiritsa ntchito zida za dielectric otsika-k ndi kukhathamiritsa kapangidwe ka zitsulo zolumikizirana, capacitance ya parasitic ndi kukana zitha kuchepetsedwa, kuwongolera kuthamanga ndi kugwiritsa ntchito mphamvu kwa mabwalo.
Nthawi yotumiza: Nov-25-2024