Kodi zovuta zaukadaulo za ng'anjo ya kukula kwa silicon carbide crystal ndi chiyani?

Ng'anjo ya kukula kwa kristalo ndiye zida zoyambirasilicon carbidekukula kwa kristalo. Ndizofanana ndi ng'anjo yachikhalidwe ya crystalline silicon grade crystal kukula. Kapangidwe ka ng'anjo sikovuta kwambiri. Amapangidwa makamaka ndi thupi la ng'anjo, makina otenthetsera, njira yotumizira koyilo, kutengera vacuum ndi kuyeza, njira ya gasi, dongosolo lozizira, dongosolo lowongolera, ndi zina. Malo otentha ndi momwe zinthu zimakhalira zimatsimikizira zizindikiro zazikulu zakristalo wa silicon carbidemonga khalidwe, kukula, conductivity ndi zina zotero.

Kumbali imodzi, kutentha pa kukula kwakristalo wa silicon carbidendi okwera kwambiri ndipo sangathe kuyang'aniridwa. Choncho, vuto lalikulu lagona mu ndondomeko yokha. Mavuto akulu ndi awa:

(1) Kuvuta pakuwongolera kumunda kwamafuta:

Kuwunika kwa kutsekedwa kwa kutentha kwakukulu kumakhala kovuta komanso kosalamulirika. Mosiyana ndi zida zachikhalidwe za silicon-based solution zokoka kristalo zokhala ndi digirii yayikulu yodziwikiratu komanso njira yowoneka bwino komanso yosinthika ya kristalo, makristalo a silicon carbide amakula pamalo otsekedwa pamalo otentha kwambiri kuposa 2,000 ℃, komanso kutentha kwa kukula. ziyenera kuyendetsedwa bwino panthawi yopanga, zomwe zimapangitsa kuti kutentha kukhale kovuta;

(2) Kuvuta pakuwongolera mawonekedwe a kristalo:

Ma Micropipes, polymorphic inclusions, dislocations ndi zolakwika zina zimatha kuchitika panthawi ya kukula, ndipo zimakhudzana ndi kusinthana. Ma Micropipes (MP) ndizovuta zamtundu wokhala ndi kukula kwa ma microns angapo mpaka makumi a ma microns, omwe ndi zolakwika zakupha pazida. Silicon carbide makhiristo amodzi amaphatikiza mitundu yopitilira 200 ya makristalo, koma ma kristalo ochepa chabe (mtundu wa 4H) ndi zida za semiconductor zomwe zimafunikira kupanga. Kusintha kwa mawonekedwe a Crystal ndikosavuta kuchitika panthawi yakukula, zomwe zimapangitsa kuti pakhale zolakwika za polymorphic kuphatikiza. Chifukwa chake, ndikofunikira kuwongolera moyenera magawo monga chiŵerengero cha silicon-carbon, kukula kwa kutentha kwa kutentha, kukula kwa kristalo, ndi kuthamanga kwa mpweya. Kuonjezera apo, pali kutentha kwa kutentha kwa silicon carbide single crystal kukula, komwe kumabweretsa kupsinjika kwamkati mkati ndi kusokonezeka (basal plane dislocation BPD, screw dislocation TSD, dislocation TED) panthawi ya kukula kwa crystal, potero. kukhudza ubwino ndi machitidwe a epitaxy wotsatira ndi zipangizo.

(3) Kuwongolera kovuta kwa doping:

Kuyambitsa zonyansa zakunja kuyenera kuyang'aniridwa mosamalitsa kuti mupeze kristalo wa conductive wokhala ndi doping yolunjika;

(4) Kukula kwapang'onopang'ono:

Kukula kwa silicon carbide ndikocheperako. Zida zachikhalidwe za silicon zimangofunika masiku atatu kuti zikule kukhala ndodo ya kristalo, pomwe ndodo za silicon carbide crystal zimafunikira masiku 7. Izi zimabweretsa kuchepa kwachilengedwe kwa silicon carbide komanso kutulutsa kochepa kwambiri.

Kumbali ina, magawo a silicon carbide epitaxial kukula ndizovuta kwambiri, kuphatikiza kulimba kwa mpweya kwa zida, kukhazikika kwamphamvu kwa mpweya muchipinda chochitiramo, kuwongolera bwino kwa nthawi yoyambira gasi, kulondola kwa mpweya. chiŵerengero, ndi kasamalidwe okhwima kutentha mafunsidwe. Makamaka, ndi kusintha kwa mlingo wa mphamvu yamagetsi ya chipangizocho, kuvutika kulamulira magawo apakati a epitaxial wafer kwawonjezeka kwambiri. Kuonjezera apo, ndi kuwonjezeka kwa makulidwe a epitaxial layer, momwe mungayang'anire kufanana kwa resistivity ndi kuchepetsa kuchepa kwa chilema pamene kuonetsetsa kuti makulidwe akukhala vuto lina lalikulu. Mumagetsi owongolera magetsi, ndikofunikira kuphatikizira masensa apamwamba kwambiri ndi ma actuators kuti atsimikizire kuti magawo osiyanasiyana amatha kuyendetsedwa molondola komanso mokhazikika. Nthawi yomweyo, kukhathamiritsa kwa algorithm yowongolera ndikofunikira. Iyenera kutha kusintha njira yoyendetsera nthawi yeniyeni molingana ndi chizindikiro cha ndemanga kuti igwirizane ndi kusintha kosiyanasiyana mu ndondomeko ya kukula kwa silicon carbide epitaxial.

Zovuta zazikulu musilicon carbide gawo lapansikupanga: