Hva er silisiumkarbidbelegg?

Silisiumkarbidbelegg,vanligvis kjent som SiC-belegg, refererer til prosessen med å påføre et lag med silisiumkarbid på overflater gjennom metoder som Chemical Vapor Deposition (CVD), Physical Vapor Deposition (PVD) eller termisk sprøyting. Dette keramiske silisiumkarbidbelegget forbedrer overflateegenskapene til forskjellige underlag ved å gi eksepsjonell slitestyrke, termisk stabilitet og korrosjonsbeskyttelse. SiC er kjent for sine enestående fysiske og kjemiske egenskaper, inkludert et høyt smeltepunkt (omtrent 2700 ℃), ekstrem hardhet (Mohs skala 9), utmerket korrosjons- og oksidasjonsmotstand og eksepsjonell ablasjonsytelse.

Viktige fordeler med silisiumkarbidbelegg i industrielle applikasjoner

På grunn av disse egenskapene er silisiumkarbidbelegg mye brukt i felt som romfart, våpenutstyr og halvlederbehandling. I ekstreme miljøer, spesielt innenfor området 1800-2000 ℃, viser SiC-belegg bemerkelsesverdig termisk stabilitet og ablativ motstand, noe som gjør det ideelt for høytemperaturapplikasjoner. Imidlertid mangler silisiumkarbid alene den strukturelle integriteten som er nødvendig for mange bruksområder, så beleggingsmetoder brukes for å utnytte dets unike egenskaper uten å gå på bekostning av komponentstyrken. I halvlederproduksjon gir silisiumkarbidbelagte elementer pålitelig beskyttelse og ytelsesstabilitet i utstyr som brukes i MOCVD-prosesser.

Vanlige metoder for fremstilling av silisiumkarbidbelegg

Ⅰ● Kjemisk dampavsetning (CVD) silisiumkarbidbelegg

I denne metoden dannes SiC-belegg ved å plassere substrater i et reaksjonskammer, hvor metyltriklorsilan (MTS) fungerer som en forløper. Under kontrollerte forhold - typisk 950-1300 °C og undertrykk - gjennomgår MTS-en dekomponering, og silisiumkarbid avsettes på overflaten. Denne CVD SiC-beleggingsprosessen sikrer et tett, jevnt belegg med utmerket vedheft, ideelt for høypresisjonsapplikasjoner i halvleder- og romfartssektorer.

Ⅱ● Forløperkonverteringsmetode (polymerimpregnering og pyrolyse – PIP)

En annen effektiv tilnærming til spraybelegg av silisiumkarbid er forløperkonverteringsmetoden, som innebærer å senke den forhåndsbehandlede prøven i en keramisk forløperløsning. Etter å ha støvsuget impregneringstanken og trykksatt belegget, varmes prøven opp, noe som fører til dannelse av silisiumkarbidbelegg ved avkjøling. Denne metoden er foretrukket for komponenter som krever jevn beleggtykkelse og økt slitestyrke.

Fysiske egenskaper av silisiumkarbidbelegg

Silisiumkarbidbelegg viser egenskaper som gjør dem ideelle for krevende industrielle applikasjoner. Disse egenskapene inkluderer:

Termisk ledningsevne: 120-270 W/m·K
Koeffisient for termisk ekspansjon: 4,3 × 10^^(-6)/K (ved 20~800 ℃)
Elektrisk resistivitet: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Hardhet: Mohs skala 9

Bruk av silisiumkarbidbelegg

I halvlederproduksjon beskytter silisiumkarbidbelegg for MOCVD og andre høytemperaturprosesser kritisk utstyr, som reaktorer og susceptorer, ved å tilby både høytemperaturmotstand og stabilitet. I romfart og forsvar påføres silisiumkarbidkeramiske belegg på komponenter som må tåle høyhastighetspåvirkninger og korrosive miljøer. Videre kan silisiumkarbidmaling eller -belegg også brukes på medisinsk utstyr som krever holdbarhet under steriliseringsprosedyrer.

Hvorfor velge silisiumkarbidbelegg?

Med en dokumentert rekord i å forlenge komponentens levetid, gir silisiumkarbidbelegg uovertruffen holdbarhet og temperaturstabilitet, noe som gjør dem kostnadseffektive for langtidsbruk. Ved å velge en silisiumkarbidbelagt overflate drar industrien fordel av reduserte vedlikeholdskostnader, forbedret utstyrspålitelighet og forbedret driftseffektivitet.

Hvorfor velge VET ENERGY?

VET ENERGY er en profesjonell produsent og fabrikk av silisiumkarbidbeleggprodukter i Kina. De viktigste SiC-beleggsproduktene inkluderer keramisk beleggvarmer av silisiumkarbid,CVD Silisiumkarbidbelegg MOCVD Susceptor, MOCVD grafittbærer med CVD SiC-belegg, SiC-belagte grafittbasebærere, Silisiumkarbidbelagt grafittsubstrat for halvledere,SiC-belegg/belagt grafittsubstrat/brett for halvleder, CVD SiC-belagt karbon-karbon kompositt CFC båtform. VET ENERGY er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.