Under dampfase-epitaksi (VPE)-prosessen er pidestallens rolle å støtte substratet og sikre jevn oppvarming under vekstprosessen. Ulike typer piedestaler egner seg for ulike vekstforhold og materialsystemer. Følgende er noen av de vanligste pidestalltypene i dampfaseepitaksi:
Tønne sokkel
Tønnesøyler brukes ofte i horisontale eller skråstilte dampfase-epitaksisystemer. De kan holde på substratet og la gassen strømme over substratet, noe som bidrar til å oppnå jevn epitaksial vekst.
Skiveformet sokkel (vertikal sokkel)
Skiveformede pidestaller er egnet for vertikale dampfase-epitaksisystemer, der underlaget er plassert vertikalt. Denne utformingen bidrar til å redusere kontaktområdet mellom substratet og susceptoren, og reduserer dermed varmetap og potensiell forurensning.
Horisontal susceptor
Horisontale susceptorer er mindre vanlige i dampfaseepitaksi, men kan brukes i noen spesifikke vekstsystemer for å tillate epitaksial vekst i horisontal retning.
Monolittisk epitaksial reaksjonssusceptor
Den monolittiske epitaksiale reaksjonssusceptoren er designet for et enkelt substrat, som kan gi mer presis temperaturkontroll og bedre termisk isolasjon, egnet for vekst av epitaksiale lag av høy kvalitet.
Velkommen til vår nettside for produktinformasjon og konsultasjon.
Vår nettside: https://www.vet-china.com/
Innleggstid: 30. juli 2024