Sputtering målbrukes hovedsakelig i elektronikk- og informasjonsindustrien, som integrerte kretser, informasjonslagring, flytende krystallskjermer, laserminner, elektroniske kontrollenheter, etc. De kan også brukes innen glassbelegg, så vel som i slitasjebestandig materialer, høy temperatur korrosjonsbestandighet, high-end dekorative produkter og andre næringer.
Sputtering er en av hovedteknikkene for fremstilling av tynnfilmmaterialer.Den bruker ioner generert av ionekilder for å akselerere og aggregere i et vakuum for å danne høyhastighets energiionestråler, bombardere den faste overflaten og utveksle kinetisk energi mellom ioner og faste overflateatomer. Atomene på den faste overflaten forlater det faste stoffet og avsettes på overflaten av substratet. Det bombarderte faststoffet er råmaterialet for avsetning av tynne filmer ved sputtering, som kalles sputtering target. Ulike typer sputterte tynnfilmmaterialer har blitt mye brukt i integrerte halvlederkretser, opptaksmedier, flatskjermer og overflatebelegg på arbeidsstykket.
Blant alle applikasjonsindustrier har halvlederindustrien de strengeste kvalitetskravene for målforstøvningsfilmer. Metallforstøvningsmål med høy renhet brukes hovedsakelig i wafer-produksjon og avanserte pakkeprosesser. Hvis vi tar brikkeproduksjon som et eksempel, kan vi se at fra en silisiumplate til en brikke, må den gå gjennom 7 store produksjonsprosesser, nemlig diffusjon (termisk prosess), fotolitografi (fotolitografi), etsing (ets), Ioneimplantasjon (ionimplantat), tynnfilmvekst (dielektrisk avsetning), kjemisk mekanisk polering (CMP), metallisering (metallisering) Prosessene samsvarer én etter én. Sputtermålet brukes i prosessen med "metallisering". Målet bombarderes med høyenergipartikler av tynnfilmavsetningsutstyr og deretter dannes et metalllag med spesifikke funksjoner på silisiumplaten, som ledende lag, barrierelag. Vent. Siden prosessene til hele halvlederne er varierte, er det behov for noen sporadiske situasjoner for å verifisere at systemet eksisterer riktig, så vi krever noen typer dummymaterialer på visse stadier av produksjonen for å bekrefte effekten.
Innleggstid: 17-jan-2022