Wafer susceptor met TaC-coating voor G5 G10

Korte beschrijving:

Semicera is toonaangevend in de halfgeleiderindustrie met een innovatieve lijn tantaalcarbide (TaC)-producten om te voldoen aan de steeds strenger wordende vereisten voor halfgeleiderprocessen.Of het nu gaat om epitaxiale procestemperaturen van meer dan 2000 graden Celsius of om sublimatieproblemen met traditionele materialen, ons CvD tantaalcarbide (TaC) biedt een betrouwbare oplossing.Onze producten zijn bestand tegen extreme temperaturen tot 2300 graden Celsius en hebben een uitstekende levensduur.Door contact op te nemen met Semicera kunt u meer te weten komen over onze geavanceerde oplossingen, inclusief op maat gemaakte opties voor met tantaalcarbide gecoate afdekplaten.Wij streven ernaar betrouwbare bescherming en uitstekende prestaties voor uw halfgeleiderproces te bieden, zodat u succesvol kunt zijn in de zeer competitieve markt.


Product detail

Productlabels

TaC-coating is een soort tantaalcarbide (TaC) -coating, bereid door middel van fysische dampafzettingstechnologie, en heeft de volgende kenmerken:

1. Hoge hardheid: de hardheid van de TaC-coating is hoog, kan meestal 2500-3000HV bereiken, is een uitstekende harde coating.

2. Slijtvastheid: TaC-coating is zeer slijtvast, wat de slijtage en schade aan mechanische onderdelen tijdens gebruik effectief kan verminderen.

3. Goede weerstand tegen hoge temperaturen: TaC-coating kan zijn uitstekende prestaties ook behouden onder hoge temperaturen.

4. Goede chemische stabiliteit: TaC-coating heeft een goede chemische stabiliteit en is bestand tegen vele chemische reacties, zoals zuren en basen.

TaC-coating16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysische eigenschappen van TaC coating

密度/ Dikte

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifieke emissiviteit

0,3

热膨胀系数 / Thermische expansiecoëfficiënt

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Hardheid (HK)

2000 Hongkong

电阻 / Weerstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Thermische stabiliteit

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafietgroottewijzigingen

-10~-20um

涂层厚度 / Bekledingsdikte

≥20um typische waarde (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is een hightech onderneming die zich richt op de productie en verkoop van hoogwaardige geavanceerde materialen, de materialen en technologie die grafiet, siliciumcarbide, keramiek, oppervlaktebehandeling enzovoort omvatten.De producten worden veel gebruikt in fotovoltaïsche energie, halfgeleiders, nieuwe energie, metallurgie, enz.

Ons technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan meer professionele materiaaloplossingen voor u bieden.

Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Onlinechat!