Siliciumcarbide coating,algemeen bekend als SiC-coating, verwijst naar het proces waarbij een laag siliciumcarbide op oppervlakken wordt aangebracht via methoden zoals Chemical Vapour Deposition (CVD), Physical Vapour Deposition (PVD) of thermisch spuiten. Deze keramische coating van siliciumcarbide verbetert de oppervlakte-eigenschappen van verschillende substraten door uitzonderlijke slijtvastheid, thermische stabiliteit en corrosiebescherming te bieden. SiC staat bekend om zijn uitstekende fysische en chemische eigenschappen, waaronder een hoog smeltpunt (ongeveer 2700℃), extreme hardheid (Mohs-schaal 9), uitstekende corrosie- en oxidatieweerstand en uitzonderlijke ablatieprestaties.
Belangrijkste voordelen van siliciumcarbidecoating in industriële toepassingen
Vanwege deze kenmerken wordt siliciumcarbidecoating veel gebruikt in gebieden zoals de lucht- en ruimtevaart, wapenuitrusting en halfgeleiderverwerking. In extreme omgevingen, vooral binnen het bereik van 1800-2000 ℃, vertoont de SiC-coating een opmerkelijke thermische stabiliteit en ablatieve weerstand, waardoor deze ideaal is voor toepassingen bij hoge temperaturen. Siliciumcarbide alleen mist echter de structurele integriteit die nodig is voor veel toepassingen, dus worden coatingmethoden gebruikt om de unieke eigenschappen ervan te benutten zonder de sterkte van de componenten in gevaar te brengen. Bij de productie van halfgeleiders bieden met siliciumcarbide gecoate elementen betrouwbare bescherming en prestatiestabiliteit binnen apparatuur die wordt gebruikt in MOCVD-processen.
Gebruikelijke methoden voor de voorbereiding van siliciumcarbidecoating
Ⅰ● Chemische dampafzetting (CVD) Siliciumcarbidecoating
Bij deze methode worden SiC-coatings gevormd door substraten in een reactiekamer te plaatsen, waar methyltrichloorsilaan (MTS) als precursor fungeert. Onder gecontroleerde omstandigheden (doorgaans 950-1300 °C en negatieve druk) ondergaat het MTS ontbinding en wordt siliciumcarbide op het oppervlak afgezet. Dit CVD SiC-coatingproces zorgt voor een dichte, uniforme coating met uitstekende hechting, ideaal voor uiterst nauwkeurige toepassingen in de halfgeleider- en ruimtevaartsector.
Ⅱ● Precursorconversiemethode (polymeerimpregnatie en pyrolyse – PIP)
Een andere effectieve benadering door sproeien met siliciumcarbide is de precursorconversiemethode, waarbij het voorbehandelde monster wordt ondergedompeld in een keramische precursoroplossing. Na het vacuümzuigen van de impregneertank en het onder druk zetten van de coating, wordt het monster verwarmd, wat bij afkoeling leidt tot de vorming van een siliciumcarbidecoating. Deze methode heeft de voorkeur voor componenten die een uniforme laagdikte en verbeterde slijtvastheid vereisen.
Fysische eigenschappen van siliciumcarbidecoating
Siliciumcarbidecoatings vertonen eigenschappen die ze ideaal maken voor veeleisende industriële toepassingen. Deze eigenschappen omvatten:
Thermische geleidbaarheid: 120-270 W/m·K
Thermische uitzettingscoëfficiënt: 4,3 × 10^(-6)/K (bij 20~800℃)
Elektrische weerstand: 10^5– 10^6Ω·cm
Hardheid: schaal van Mohs 9
Toepassingen van siliciumcarbidecoating
Bij de productie van halfgeleiders beschermt de siliciumcarbidecoating voor MOCVD en andere hogetemperatuurprocessen kritische apparatuur, zoals reactoren en susceptors, door zowel weerstand tegen hoge temperaturen als stabiliteit te bieden. In de ruimtevaart en defensie worden keramische coatings van siliciumcarbide aangebracht op componenten die bestand moeten zijn tegen schokken bij hoge snelheden en corrosieve omgevingen. Bovendien kunnen siliciumcarbideverf of -coatings ook worden gebruikt op medische apparaten die duurzaamheid vereisen tijdens sterilisatieprocedures.
Waarom kiezen voor siliciumcarbidecoating？
Met een bewezen staat van dienst in het verlengen van de levensduur van componenten, bieden siliciumcarbidecoatings ongeëvenaarde duurzaamheid en temperatuurstabiliteit, waardoor ze kosteneffectief zijn voor langdurig gebruik. Door te kiezen voor een met siliciumcarbide gecoat oppervlak profiteren industrieën van lagere onderhoudskosten, verbeterde betrouwbaarheid van apparatuur en verbeterde operationele efficiëntie.
Waarom kiezen voor VET ENERGIE?
VET ENERGY is een professionele fabrikant en fabriek van siliciumcarbidecoatingproducten in China. De belangrijkste SiC-coatingproducten zijn onder meer een keramische coatingverwarmer van siliciumcarbide,CVD Siliciumcarbide Coating MOCVD Susceptor, MOCVD Grafietdrager met CVD SiC-coating, SiC-gecoate grafietbasisdragers, Siliciumcarbide gecoat grafietsubstraat voor halfgeleiders,SiC-coating/gecoat grafietsubstraat/lade voor halfgeleiders, CVD SiC-gecoate koolstof-koolstof composiet CFC-bootvorm. VET ENERGY zet zich in voor het leveren van geavanceerde technologie en productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.
Posttijd: 02-09-2023