Wat is sic-coating?

Siliciumcarbideis een harde verbinding die silicium en koolstof bevat en in de natuur wordt aangetroffen als het uiterst zeldzame mineraal moissaniet. Siliciumcarbidedeeltjes kunnen door sinteren aan elkaar worden gebonden om zeer harde keramiek te vormen, die veel wordt gebruikt in toepassingen die een hoge duurzaamheid vereisen, vooral bij halfgeleiderprocessie.

Fysieke structuur van SiC

SiC-coating is een dichte, slijtvaste siliciumcarbidecoating met hoge corrosie- en hittebestendigheid en uitstekende thermische geleidbaarheid. Deze hoogzuivere SiC-coating wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en elektronica-industrie om waferdragers, bases en verwarmingselementen te beschermen tegen corrosieve en reactieve omgevingen. SiC-coating is ook geschikt voor vacuümovens en monsterverwarming in hoogvacuüm-, reactieve en zuurstofomgevingen.

Zeer zuiver SiC-coatingoppervlak

Wat is het SiC-coatingproces?

Met behulp van een dunne laag siliciumcarbide wordt dit op het oppervlak van het substraat aangebrachtCVD (chemische dampafzetting). Depositie wordt gewoonlijk uitgevoerd bij temperaturen van 1200-1300°C en het thermische uitzettingsgedrag van het substraatmateriaal moet compatibel zijn met de SiC-coating om thermische spanningen te minimaliseren.

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC-coating FILM-KRISTALSTRUCTUUR

De fysieke eigenschappen van SiC-coating worden voornamelijk weerspiegeld in de hoge temperatuurbestendigheid, hardheid, corrosieweerstand en thermische geleidbaarheid.

Typische fysieke parameters zijn meestal als volgt:

Hardheid: SiC-coating heeft doorgaans een Vickers-hardheid in het bereik van 2000-2500 HV, waardoor ze extreem hoge slijtvastheid en slagvastheid hebben in industriële toepassingen.

Dikte: SiC-coatings hebben doorgaans een dichtheid van 3,1-3,2 g/cm³. De hoge dichtheid draagt bij aan de mechanische sterkte en duurzaamheid van de coating.

Thermische geleidbaarheid: SiC-coatings hebben een hoge thermische geleidbaarheid, doorgaans in het bereik van 120-200 W/mK (bij 20°C). Dit geeft het een goede thermische geleidbaarheid in omgevingen met hoge temperaturen en maakt het bijzonder geschikt voor warmtebehandelingsapparatuur in de halfgeleiderindustrie.

Smeltpunt: siliciumcarbide heeft een smeltpunt van circa 2730°C en heeft een uitstekende thermische stabiliteit bij extreme temperaturen.

Coëfficiënt van thermische uitzetting: SiC-coatings hebben een lage lineaire thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE), doorgaans in het bereik van 4,0-4,5 µm/mK (bij 25-1000 ℃). Dit betekent dat de maatvastheid uitstekend is bij grote temperatuurverschillen.

Corrosiebestendigheid: SiC-coatings zijn extreem corrosiebestendig in sterk zure, alkalische en oxiderende omgevingen, vooral bij gebruik van sterke zuren (zoals HF of HCl). Hun corrosieweerstand is veel groter dan die van conventionele metalen materialen.

SiC-coatings kunnen op de volgende materialen worden aangebracht:

Isostatisch grafiet met hoge zuiverheid (lage CTE)
Wolfraam
Molybdeen
Siliciumcarbide
Siliciumnitride
Koolstof-koolstofcomposieten (CFC)

SiC-gecoate producten worden vaak gebruikt in de volgende gebieden:

Productie van LED-chips
Productie van polysilicium
Halfgeleiderkristal groei
Silicium enSiC-epitaxie
Wafer warmtebehandeling en etsen

Waarom kiezen voor VET Energie?

VET Energy is een toonaangevende fabrikant, innovator en leider van SiC-coatingproducten in China. De belangrijkste SiC-coatingproducten omvattenwaferdrager met SiC-coating, SiC-gecoatepitaxiale susceptor, SiC-gecoate grafietring, Halvemaandelen met SiC-coating, SiC-gecoat koolstof-koolstofcomposiet, Waferboot met SiC-coating, Verwarming met SiC-coating, enz. VET Energy streeft ernaar de halfgeleiderindustrie te voorzien van de ultieme technologie- en productoplossingen en ondersteunt maatwerkdiensten. Wij kijken er oprecht naar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.