SiC-coating kan worden bereid door chemische dampafzetting (CVD), precursortransformatie, plasmaspuiten, enz. De coating bereid door CHEMISCHE dampafzetting is uniform en compact en heeft een goede ontwerpbaarheid. Met behulp van methyltrichlosilaan. (CHzSiCl3, MTS) als siliciumbron is SiC-coating bereid met de CVD-methode een relatief volwassen methode voor het aanbrengen van deze coating.
SiC-coating en grafiet hebben een goede chemische compatibiliteit, het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen hen is klein, het gebruik van SiC-coating kan de slijtvastheid en oxidatieweerstand van grafietmateriaal effectief verbeteren. Onder hen hebben de stoichiometrische verhouding, de reactietemperatuur, het verdunningsgas, het onzuiverheidsgas en andere omstandigheden een grote invloed op de reactie.
Posttijd: 14 september 2022