Tijdens het dampfase-epitaxy (VPE)-proces is de rol van het voetstuk het ondersteunen van het substraat en het zorgen voor een uniforme verwarming tijdens het groeiproces. Verschillende soorten sokkels zijn geschikt voor verschillende groeiomstandigheden en materiaalsystemen. Hieronder volgen enkele van de meest gebruikte voetstuktypen in de dampfaseepitaxie:
Vat voetstuk
Vatsokkels worden vaak gebruikt in horizontale of gekantelde epitaxiesystemen in de dampfase. Ze kunnen het substraat vasthouden en het gas over het substraat laten stromen, wat helpt om een uniforme epitaxiale groei te bereiken.
Schijfvormige sokkel (verticaal sokkel)
Schijfvormige sokkels zijn geschikt voor verticale dampfase-epitaxiesystemen, waarbij het substraat verticaal wordt geplaatst. Dit ontwerp helpt het contactoppervlak tussen het substraat en de susceptor te verkleinen, waardoor warmteverlies en potentiële vervuiling worden verminderd.
Horizontale susceptor
Horizontale susceptoren komen minder vaak voor bij epitaxie in de dampfase, maar kunnen in sommige specifieke groeisystemen worden gebruikt om epitaxiale groei in horizontale richting mogelijk te maken.
Monolithische epitaxiale reactie susceptor
De monolithische epitaxiale reactie susceptor is ontworpen voor een enkel substraat, dat een nauwkeurigere temperatuurregeling en betere thermische isolatie kan bieden, geschikt voor de groei van hoogwaardige epitaxiale lagen.
Welkom op onze website voor productinformatie en advies.
Onze website: https://www.vet-china.com/
Posttijd: 30 juli 2024