VET EnergieDe PECVD-procesgrafietdrager is een hoogwaardig verbruiksartikel dat is afgestemd op het PECVD-proces (plasma verbeterde chemische dampdepositie). Deze grafietdrager is gemaakt van grafietmateriaal met hoge zuiverheid en hoge dichtheid, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, maatstabiliteit en andere kenmerken, en kan een stabiel dragerplatform bieden voor het PECVD-proces, om de uniformiteit en vlakheid van dunne film te garanderen afzetting.
Grafietdragers voor het PECVD-proces hebben de volgende kenmerken:
▪ Hoge zuiverheid: extreem laag gehalte aan onzuiverheden, waardoor vervuiling van de film wordt vermeden en de filmkwaliteit wordt gegarandeerd.
▪ Hoge dichtheid: hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen PECVD-omgevingen met hoge temperaturen en hoge druk.
▪ Goede maatvastheid: kleine maatverandering bij hoge temperatuur, waardoor processtabiliteit wordt gewaarborgd.
▪ Uitstekende thermische geleidbaarheid: warmte wordt effectief overgedragen om oververhitting van de wafel te voorkomen.
▪ Sterke corrosieweerstand: bestand tegen erosie door verschillende corrosieve gassen en plasma.
▪ Service op maat: grafietdragers van verschillende maten en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.
Grafietmateriaal van SGL:
| Typische parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandaard | Waarde | Eenheid |
| Gemiddelde korrelgrootte | ISO13320 | 10 | urn |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Open porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelmatige poriegrootte | DIN66133 | 1.8 | urn |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0,06 | cm²/sec |
| Rockwell-hardheid HR5/100 | DIN-IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifieke elektrische weerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Buigsterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druksterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young's modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Thermische uitzetting (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Thermische geleidbaarheid (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Het is speciaal ontworpen voor de productie van zeer efficiënte zonnecellen en ondersteunt de verwerking van grote G12-wafels. Een geoptimaliseerd dragerontwerp verhoogt de doorvoer aanzienlijk, waardoor hogere opbrengsten en lagere productiekosten mogelijk zijn.
| Item | Type | Nummer wafeldrager |
| PEVCD Grephite-boot - De 156-serie | 156-13 grefietboot | 144 |
| 156-19 grefietboot | 216 | |
| 156-21 grefietboot | 240 | |
| 156-23 grafietboot | 308 | |
| PEVCD Grephite-boot - De 125-serie | 125-15 grefietboot | 196 |
| 125-19 grefietboot | 252 | |
| 125-21 grafietboot | 280 |
